[发明专利]一种封装基板的加工生产设备及加工方法有效

专利信息
申请号: 202110776546.6 申请日: 2021-07-09
公开(公告)号: CN113257682B 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 何福权 申请(专利权)人: 深圳和美精艺半导体科技股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L21/67
代理公司: 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 代理人: 吴雅丽
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 封装 加工 生产 设备 方法
【权利要求书】:

1.一种封装基板的加工生产设备,包括基板本体以及用于对基板本体自动进行上料、酸洗、净水冲洗和烘干操作的机体(1)、输送机构(2)、提升机构(3)、上料机构(4)、排水机构(5)、擦拭机构(6)、管路机构(7)以及烘干机构(8),其特征在于:基板本体包括陶瓷基板(9),所述陶瓷基板(9)的两侧依次设置内层厚铜箔(91)以及外层薄铜箔(92),所述机体(1)的内部设置有隔板(11),所述隔板(11)的一侧设有酸洗腔,所述隔板(11)的另一侧设有收集腔(15)、中和腔(16)以及循环腔(17),所述机体(1)的顶部设置有输出端安装有丝杆一(121)的电机一(12),所述机体(1)的一侧设置有输送端安装有丝杆二(131)的电机二(13);

所述输送机构(2)包括设置于机体(1)内部且一端延伸至机体(1)外部的输送架(21),所述输送架(21)的内部设置有输送辊(23),基板本体设置于输送辊(23)上,所述输送架(21)的一侧设置有用于驱动输送辊(23)的电机三(22);

所述提升机构(3)包括设置于酸洗腔内部的集水座(31),所述集水座(31)的内部设置有用于放置基板本体进行酸洗浸泡的提升架(32),所述集水座(31)的顶部设置有与丝杆一(121)传动连接的螺母座一(34),启动所述电机一(12),实现对所述集水座(31)的上下移动,所述集水座(31)的底部和一侧分别开设有排酸孔(35)和排水孔(36);

所述上料机构(4)包括设置于机体(1)内部且位于提升架(32)上方的固定板(41),所述固定板(41)的底部设置有支撑架(42)且支撑架(42)的底部设置有两组上料架(43),所述上料架(43)的底部设置有数量不少于一个的吸盘(44),最左侧所述上料架(43)的顶部设置有支杆且支杆的底部设置有数量不少于一个的喷头(45),所述提升架(32)的一侧设置有与喷头(45)相连通的水管(451),所述固定板(41)的顶部设置有输送端与支撑架(42)顶部固定连接的气缸(46),启动所述气缸(46),实现对所述上料架(43)的上下移动,所述固定板(41)的顶部设置有与丝杆二(131)传动连接的螺母座二(47),启动所述电机二(13),实现对所述固定板(41)的左右移动;

所述排水机构(5)包括设置于隔板(11)一侧的封闭杆(51)以及固定管(53),所述封闭杆(51)远离隔板(11)的一端延伸至排酸孔(35)的正上方,所述固定管(53)与收集腔(15)相连通且固定管(53)的内部设置有活动管(54),所述活动管(54)的表面通过联动杆(55)设置有斜块(56),所述联动杆(55)的一侧固定设置有一端贯穿隔板(11)内部的活动杆(57),所述联动杆(55)的一侧设置有一端与隔板(11)的一侧相连接的弹簧;

所述擦拭机构(6)包括设置于机体(1)内部且位于隔板(11)远离封闭杆(51)一侧的集水盒(61),所述集水盒(61)的内部设置有海绵块(62),所述海绵块(62)的内部设置有两端分别与集水盒(61)内壁的两侧固定连接的稳定板(63),所述海绵块(62)的底部设置有压板(64),所述压板(64)的底部设置有与活动杆(57)相抵触的驱动座(65),所述集水盒(61)的内部设置有内部与压板(64)表面套接的橡胶围挡(67),所述橡胶围挡(67)的底部设置有与收集腔(15)相连通的软管(68);

所述烘干机构(8)包括设置于机体(1)内部的烘干盒(81),所述烘干盒(81)的内部设置有风机(82)以及电加热丝(83),启动所述风机(82)以及电加热丝(83),生成热风对清洗后的基板本体进行烘干。

2.根据权利要求1所述的一种封装基板的加工生产设备,其特征在于:所述固定管(53)与活动管(54)之间设置有橡胶筒,用于实现所述固定管(53)与活动管(54)之间的密封,所述封闭杆(51)远离隔板(11)的一端设置有堵头(52),所述堵头(52)的直径大于排酸孔(35)的直径,所述提升架(32)的底部开设有通孔,所述集水座(31)内壁的底面呈倾斜设置,所述集水座(31)的顶部设置有提升杆(33)且提升杆(33)的顶部与螺母座一(34)的底部固定连接。

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