[发明专利]一种隔膜式压缩机膜片激光四轴光整设备

权利要求书

1.一种隔膜式压缩机膜片激光四轴光整设备，其特征在于，包含真空旋转模块(1)、振镜伺服运动模块(2)、气体保护模块(3)、真空吸附模块(4)。

2.根据权利要求1所述的一种隔膜式压缩机膜片激光四轴光整设备，所述的真空旋转模块(1)包括：定位螺母(11)、密封螺母(12)、轴承(13)、密封垫(14)、真空齿轮轴(15)、转动伞齿轮(16)、抽/充气软管(17)、联轴器(18)，并且所述真空旋转模块(1)依靠定位螺母(11)和真空齿轮轴(15)的轴肩依附在密封法兰盘(26)上，与振镜伺服运动模块实现四轴运动，抽/充气软管(17)接入气泵，完成真空室腔体(41)抽/充气工作，联轴器(18)接入伺服控制模块，实现真空齿轮轴(15)Z轴旋转。

3.根据权利要求1所述的一种隔膜式压缩机膜片激光四轴光整设备，所述振镜伺服运动模块(2)包括：激光高速振镜(21)、Z轴轨道(22)、加工平台(23)、Y轴轨道(24)、X轴轨道(25)、密封法兰盘(26)、桁架(27)。

4.根据权利要求1所述的一种隔膜式压缩机膜片激光四轴光整设备，所述气体保护模块(3)包括：保护气流量阀(31)、紧固螺栓(32)、保护气喷嘴(33)、透明气体保护罩(34)，并且所述气体保护模块(3)依靠紧固螺栓(32)依附在密封法兰盘(26)上，保护气喷嘴(33)与保护气储存装置连接。

5.根据权利要求1所述的一种隔膜式压缩机膜片激光四轴光整设备，所述空吸附模块(4)包括：真空室腔体(41)、密封圈(42)，并且所述空吸附模块(4)依靠密封螺母(12)依附在真空齿轮轴(15)上，待光整工件依靠气压差附着在密封圈(42)上。