[发明专利]自动超声波涂铟设备在审

专利信息
申请号: 202110781854.8 申请日: 2021-07-12
公开(公告)号: CN113351957A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 张曹 申请(专利权)人: 常州井芯半导体设备有限公司
主分类号: B23K3/06 分类号: B23K3/06;B23K3/08
代理公司: 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 代理人: 于雅洁
地址: 213100 江苏省常州市武进区常武中路1*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 自动 超声波 设备
【权利要求书】:

1.一种自动超声波涂铟设备,其特征在于,包括:超声涂铟装置、滑动平台和支撑台;所述超声涂铟装置包括超声振动系统和铟槽,所述超声振动系统的超声振动头伸入所述铟槽内,所述铟槽用于容置铟液,所述超声振动系统的振动头座与所述滑动平台连接,所述支撑台用于放置待涂铟对象且能够带动待涂铟对象转动,所述滑动平台用于带动所述超声涂铟装置沿着预设方向移动并对待涂铟对象涂铟。

2.根据权利要求1所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述铟槽具有流道和容置腔,所述超声涂铟装置还包括铟液泵,所述超声振动头处于所述流道内,所述铟液泵用于从所述容置腔向所述流道泵送铟液,从所述流道的出口涌出的铟液能够流入所述容置腔。

3.根据权利要求1或2所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述铟槽内具有铟液。

4.根据权利要求3所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述铟液的材质为纯铟、铟锡合金或者锡铋合金。

5.根据权利要求1或2所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述铟槽内设有加热器,所述加热器用于将涂铟材料熔化成铟液。

6.根据权利要求1所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述支撑台包括加热装置和支撑架,所述支撑架用于放置待涂铟对象且能够带动待涂铟对象转动,所述加热装置设置于所述支撑架附近且用于对待涂铟对象加热。

7.根据权利要求6所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述加热装置包括固定架和加热单元,所述固定架架设于所述支撑架上方且笼罩所述支撑架,所述加热单元设置于所述固定架。

8.根据权利要求6所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述支撑架包括第一支撑层和第二支撑层,所述第一支撑层处于所述第二支撑层的上方,所述滑动平台能够设置于所述第一支撑层或者所述第二支撑层。

9.根据权利要求1或8所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述滑动平台包括滑台和传动台,所述传动台能够带动所述滑台沿着所述预设方向运动,所述滑台与所述超声振动系统的振动头座连接。

10.根据权利要求1所述的自动超声波涂铟设备,其特征在于,所述超声振动系统的超声振动头的超声频率为15~60kHz,功率为60~2000W。

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