[发明专利]一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法

权利要求书

1.一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

1)、称取In₂O₃、Ga₂O₃、ZnO粉末配备成混合粉体，将去离子水、官能团单体、分散剂、引发剂以及催化剂，分别加入到混合装置内进行湿法球磨混合搅拌均匀形成浆料；

2)、将浆料通过注塑机注入模具中，进行固化，取出模具内模；待浆料完全固化，除去外模干燥得到IGZO靶材毛坯；

3)、将干燥的IGZO靶材毛坯放置于脱脂炉内脱脂；

4)、将脱脂后的IGZO靶材毛坯放置于高温烧结炉内烧结；

5)、将烧结后的IGZO靶材毛坯进行机械加工；

6)、将加工后的IGZO靶材毛坯通过邦定材料邦定在不锈钢管上，得到IGZO旋转靶材。

2.根据权利要求1所述的凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述混合粉体还包括有微量粉体；所述微量粉体为Al₂O₃、WO₃、Nb₂O₅、Ta₂O₅、NiO、TiO₂中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述微量粉体的含量为所述混合粉体总质量的0.001-0.5％。

4.根据权利要求1所述的凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述混合粉体的质量为浆料总质量的70％-85％，所述官能团单体、分散剂、引发剂以及催化剂的混合质量为浆料总质量的5％-15％，余量为去离子水。

5.根据权利要求1所述的凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述官能团单体为丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、羟甲基丙烯酰胺、烷基丙烯酰胺、丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯基丙烯酸甲酯、N,N'-亚甲基双丙烯酰胺、聚(乙烯基乙二醇)双甲基丙烯酸中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述催化剂为四甲基乙二胺；所述分散剂为聚丙烯酸，聚丙烯酸氨、聚羧酸中一种或多种；所述引发剂选择过硫酸铵、过硫酸钠、双氧水中一种或多种。

7.根据权利要求1所述的凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述将加工后的IGZO靶材毛坯通过邦定材料邦定在不锈钢管上，得到IGZO旋转靶材，具体包括有：将石墨粉及高分子树脂混合得到混合涂料，将混合涂料分别涂覆在不锈钢管表面以及IGZO靶材毛坯的内表面，将不锈钢管插置于IGZO靶材毛坯，通过金属网片缠绕分别连接所述不锈钢管表面以及IGZO靶材毛坯得到靶材粗体，将靶材粗体加热固化得到IGZO旋转靶材，所述石墨粉质量为高分子树脂质量的15-30％。