[发明专利]一种高稳定的无铅压电陶瓷及其制备方法在审
申请号: | 202110789602.X | 申请日: | 2021-07-13 |
公开(公告)号: | CN113563073A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 姜知水;文理;董进杰 | 申请(专利权)人: | 广东捷成科创电子股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/495 | 分类号: | C04B35/495;C04B35/622;C04B35/64;C04B41/88;H01L41/187;H01L41/39;H01L41/43 |
代理公司: | 广州浩泰知识产权代理有限公司 44476 | 代理人: | 杨喆 |
地址: | 526060 广东省肇庆*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 稳定 压电 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
1.一种高稳定的无铅压电陶瓷,其特征在于,所述无铅压电陶瓷烧后的晶粒为菱形,且所述无铅压电陶瓷的化学式如下:
(1-x-y)(0.50KNbO3-0.50NaNbO3)-xMgTiO3-yBa(Zr0.5Ti0.5)O3+zSm2O3;其中,x=0.03~0.07,y=0.04~0.08,z=0.008~0.02。
2.根据权利要求1所述的高稳定的无铅压电陶瓷,其特征在于,所述无铅压电陶瓷的化学式如下:
(1-x-y)(0.50KNbO3-0.50NaNbO3)-xMgTiO3-yBa(Zr0.5Ti0.5)O3+zSm2O3;其中,x=0.05,y=0.06,z=0.015。
3.一种如权利要求1或2所述的高稳定的无铅压电陶瓷的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S01配料:首先按照权利要求1或2所述的高稳定的无铅压电陶瓷的成分计算并称取原料Na2CO3、K2CO3、Nb2O5、TiO2,MgO,Ba CO,ZrO2和Sm2O3,然后将所述原料于球磨罐中球磨混合,得到混合的粉体;
S02合成:将步骤S01得到的混合的粉体烘干后,于氧化铝坩埚内、密封条件下、800℃~950℃合成反应2.5h,得到合成的物料;
S03成型及排塑:首先将步骤S02得到的合成的物料球磨混合、烘干后流延成膜、冲制成坯体,然后将所述坯体的经两段升温至400℃,保温60min后,以5℃/min的速率将所述坯体升温至650℃保温120min,以便排出有机物;
S04烧结:将步骤S03得到的排出有机物后的坯体用步骤S02所得的部分物料埋烧:以3℃/min速率升温至1230℃,保温2小时,随炉冷却,得到烧结的坯体;
S05被覆银电极、烧银:将步骤S04得到的烧结的坯体超声水洗烘干后被银,再置于加热炉中,升温至800℃保温10min后自然冷却至室温,得到烧银的制品;
S06极化:将步骤S05得到的烧银制品,于100℃的空气中,施加1500V/mm的直流电场,极化10min,得到高稳定的无铅压电陶瓷。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S01和S03中球磨混合的条件为:球磨介质为去离子水和ZrO2球,球磨罐的转速为750r/min,球磨时间为2.5h。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,原料/物料:ZrO2球:去离子水的重量比=1:2.5:1。
6.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S02、S03和S05中的烘干均是在60~100℃干燥箱中烘干。
7.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S03中物料:流延水剂的重量比=100:1。
8.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S03中所述坯体的直径为17.20mm,厚度为12.5±0.5um。
9.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S03中所述两段升温为:先以3℃/min的速率将坯体升温至200℃,再以2℃/min速率将坯体从200℃升温至400℃。
10.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S05所述被银是采用丝网印刷工艺。
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