[发明专利]减少开裂的旋转靶材绑定方法在审
| 申请号： | 202110790276.4 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113684459A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 马建保;盛明亮;陈亮;王振宏 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减少 开裂 旋转 绑定 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种减少开裂的旋转靶材绑定方法，其特征在于：包括有：
首先依次分别对背管外表面和ITO靶筒内表面进行金属化；再将背管ITO靶筒组装在一起；
将组装好的靶材呈竖直状态装于绑定炉内采用灌铟进行升温绑定：绑定炉内从上到下分布有加热器，多个加热器加热控制绑定炉从上到下的温度，绑定前背管内从上到下的温度最大与最小值温差≤3℃，升温绑定时绑定炉内从上到下的温度最大与最小值温差≤8℃，升温绑定时背管内从上到下的温度最大与最小值温差≤5℃；
绑定完成后进行降温。
2.如权利要求1所述减少开裂的旋转靶材绑定方法，其特征在于：所述绑定炉内从上到下安装多个热偶，以及在绑定炉内位于背管内从上到下安装多个热偶进行多点测温。
3.如权利要求1所述减少开裂的旋转靶材绑定方法，其特征在于：所述背管外表面金属化为：将熔融状态的铟均匀涂于加热的背管表面，背管内插入加热管进行加热；
ITO靶筒内表面进行金属化为：采用熔融状态的铟均匀涂于加热ITO靶筒内表面，再采用加热炉加热。
4.如权利要求1所述减少开裂的旋转靶材绑定方法，其特征在于：所述背管与ITO靶筒之间通过灌铟进行焊接绑定，背管内最低温度≥165℃。
5.如权利要求1所述减少开裂的旋转靶材绑定方法，其特征在于：绑定现场的环境温度为25-30℃，相对湿度≤80%。
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