[发明专利]一种基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置及方法

权利要求书

1.一种基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置，包括一带电容器，所述带电容器包括加热部和喷出部，喷出部底端设置有微孔喷嘴，且带电容器内盛有四氯化锡，其特征在于，在所述带电容器的外侧壁上电连接有正极；所述带电容器的正下方设置有环形带电极板，环形带电极板电连接有负极。

2.根据权利要求1所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置，其特征在于，所述加热部呈圆筒状，喷出部呈倒圆锥状，微孔喷嘴朝下设置。

3.根据权利要求1所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置，其特征在于，所述带电容器内设置有加热丝。

4.根据权利要求1或2所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置，其特征在于，所述微孔喷嘴的轴线与所述环形带电极板所在轴线相重合。

5.根据权利要求4所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置，其特征在于，所述环形带电极板上负压呈周期性幅值变化。

6.根据权利要求5所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置，其特征在于，所述环形带电极板与所述微孔喷嘴之间的间距为50-100mm。

7.一种根据权利要求1-6任一所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置的发生方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)向带电容器内灌装四氯化锡，并施加气压源，使四氯化锡经微孔喷嘴形成射流喷出；

2)对带电容器壁施加正电压，使射流表面带正电；

3)对环形带电极板上施加负电压，与射流形成电场力，拉伸射流；

4)调制环形带电极板上负电压周期性幅值变化，形成变化的电场力使射流断裂为液滴；

5)根据脉冲激光频率调节环形带电极板上幅值的周期大小，使激光频率与射流断流频率一致，随后使单个激光脉冲作用单个液滴。

8.根据权利要求7所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶的发生方法，其特征在于，在所述步骤1)后还包括：

开启加热丝给四氯化锡加热，加热温度保持在25℃-100℃之间。

9.根据权利要求7所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶的发生方法，其特征在于，所述环形带电极板上负电压为直流偏置250-500V，其交流震荡幅值50-250V，震荡周期10-40kHz。

10.根据权利要求7所述的基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶的发生方法，其特征在于，向所述四氯化锡里添加水或乙醇，其溶解浓度范围为85％-99％。