[发明专利]一种复合型减反射膜及其制作方法

说明书

本发明公开一种复合型减反射膜及其制作方法，制作方法包括步骤：将衬底置于磁控溅射设备中，控制氩气的流量，并控制ICP中氩气和氧气的流量比，在衬底上交替形成低致密度的多层第一膜层和多层第二膜层，其中第一膜层具有第一折射率，第二膜层具有第二折射率，第一折射率和第二折射率不同，且位于最外层的为第一膜层；降低氩气的流量，保持ICP中氩气和氧气的流量比，在最外层第一膜层上形成高致密度且具有第一折射率的第三膜层。本发明中，由第三膜层有效地“抵挡水汽”，减少反射率变化的可能性，从而减少影响光学效果的可能性。

技术领域

本发明涉及减反射膜制作技术领域，尤其涉及一种复合型减反射膜及其制作方法。

背景技术

塑胶材质的盖板，因为它相对于玻璃更加安全，所以也是在汽车上常用的一种部件，例如中控屏或仪表屏等的盖板。车载行业，往往需要在盖板表面镀制减反射膜，以将表面的反射率降低至最低。这种减反射膜，行业上常用的工艺制作方式是磁控溅射真空镀。

但由于溅射镀能量高，镀制出来的膜相对致密，应力大且大于塑胶衬底的应力，导致塑胶衬底变形严重。为解决这个问题，我们增加镀膜过程中的氩气量，这意味着被打出的靶材原子在飞向塑胶衬底的过程中，更多几率地被碰撞，从而降低达到塑胶衬底的能量，降低了减反射膜的应力，最终找到合适的工艺点，将减反射膜的应力做到和塑胶衬底接近。

但是，以上方式做出来的减反射膜，其致密度下降，在盖板长期的实际使用过程中，减反射膜非常容易受到水汽“侵蚀”，反射率会反射变化，其光学效果会受到影响。

发明内容

本发明公开一种复合型减反射膜及其制作方法，用于解决现有技术中，减反射膜的致密度下降而容易受到水汽“侵蚀”的问题。

为了解决上述问题，本发明采用下述技术方案：

提供一种复合型减反射膜的制作方法，包括步骤：

将衬底置于磁控溅射设备中，控制氩气的流量，并控制ICP中氩气和氧气的流量比，在所述衬底上交替形成低致密度的多层第一膜层和多层第二膜层，其中所述第一膜层具有第一折射率，所述第二膜层具有第二折射率，第一折射率和第二折射率不同，且位于最外层的为所述第一膜层；

降低氩气的流量，保持ICP中氩气和氧气的流量比，在最外层所述第一膜层上形成高致密度且具有第一折射率的第三膜层。

可选的，最外层所述第一膜层的厚度大于所述第三膜层的厚度。

可选的，最外层所述第一膜层与所述第三膜层的厚度比为8-9:1。

可选的，最外层所述第一膜层的厚度为80-90nm。

可选的，第一折射率小于第二折射率。

可选的，所述第一膜层的材质为SiO₂。

可选的，所述第二膜层的材质为Nb₂O₅。

可选的，所述第一膜层和所述第二膜层共形成7层结构。

可选的，形成所述第一膜层时与形成所述第三膜层时，所述氩气的流量比为3-5:1。

可选的，形成所述第三膜层时，所述氩气的流量为50-100mL/min。

可选的，形成所述第一膜层、所述第二膜层和所述第三膜层时，所述ICP中氩气与所述氧气的流量比为1:4-1:3。

还提供一种根据上述中任一项所述制作方法制作的复合型减反射膜，包括：

衬底；