[发明专利]一种复眼照明系统的匹配方法

权利要求书

1.一种复眼照明系统的匹配方法，包括配置有光阑复眼的光阑复眼基板和配置有视场复眼的视场复眼基板，其特征在于，包括：

获取每种照明模式下可用光阑复眼的位置，所述可用光阑复眼可与视场复眼相互匹配，使得入射光能够射入掩膜版并形成照明；

获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合，以及获得所述最优组合时所述可用光阑复眼的初始角；所述最优组合使得多种所述照明模式并存时，多种所述照明模式入射光入射掩膜版时的入射方向与该掩膜版法向方向形成的夹角之和为最小；

对当所述可用光阑复眼与视场复眼为最优组合时被重复组合所述可用光阑复眼进行重新放置，获得所述可用光阑复眼与视场复眼的最终组合。

2.根据权利要求1所述的匹配方法，其特征在于，还包括：通过分型方法获取每种照明模式下可用光阑复眼的位置。

3.根据权利要求2所述的匹配方法，其特征在于，获取每种照明模式下可用光阑复眼的位置的具体方法包括：

根据相干因子确定每种照明模式的比例系数；

在相干因子的范围内对该种照明模式所形成的形状进行等比例缩放；

PF矩阵与分形矩阵重合次数为奇次时，将该位置的光阑复眼赋值为1，重合次数为偶次时，将该位置的光阑复眼赋值为0；

当值为1的光阑复眼与视场复眼的个数相同时结束分型。

4.根据权利要求1所述的匹配方法，其特征在于，通过匈牙利算法获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合。

5.根据权利要求4所述的匹配方法，其特征在于，获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合的具体方法包括：

—对每种照明模式中的所述可用光阑复眼和视场复眼进行一对一匹配；

—以入射光入射到掩膜版时的入射方向与掩膜版法向方向的夹角之和最小为条件对多种照明模式中所述可用光阑复眼和视场复眼的匹配结果求解；

—获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合以及此时所述可用光阑复眼的初始角。

6.根据权利要求1所述的匹配方法，其特征在于，通过循环压栈算法对被重复组合的可用光阑复眼进行重新放置，并使无法放置的光阑复眼所匹配的视场复眼通过转动偏离照明光路，使其不参与重复的照明模式。

7.根据权利要求6所述的匹配方法，其特征在于，对所述重复组合的可用光阑复眼进行重新放置的具体方法包括：

—以所有所述照明模式中的所述可用光阑复眼以及，所有所述照明模构建矩阵mask；

—将对应唯一一种照明模式的光阑复眼标记为非复用光阑复眼，将对应至少两种照明模式的同一光阑复眼标记为复用光阑复眼；

—通过循环压栈算法获得所述可用光阑复眼与视场复眼的最终组合。