[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材生产装置

说明书

本发明公开了一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，涉及氧化锆靶材生产技术领域。本发明包括支撑框架，支撑框架内表面之间分别固定安装有加工机构、水循环机构、送料机构和送气机构，支撑框架侧面固定安装有负压吸尘机构，水循环机构、送料机构、送气机构和负压吸尘机构一端均与加工机构连通，加工机构包括机体，机体周侧面与支撑框架固定连接，机体侧面与送气机构固定连通，机体另一侧面固定连通有与负压吸尘机构连通的吸尘罩。本发明通过加工机构、水循环机构、送料机构和送气机构的设计，使该装置能够以自动化方式高效完成氧化锆旋转靶材的生产作业。

技术领域

本发明属于氧化锆靶材生产技术领域，特别是涉及一种导电氧化锆旋转靶材生产装置。

背景技术

已知的二氧化锆存在三种金相：单斜金相、四方金相和立方金相，目前主要通过二氧化锆加入适当的掺杂剂，如氧化钇、氧化镁、氧化铈等，来提高ZrO2的离子电导率，这些掺杂剂的存在有利于形成所述的立方金相或四方金相，故掺杂的氧化锆也被称为稳定的氧化锆。

目前主要通过磁控溅射工艺来制备氧化锆靶材，但在磁控溅射过程中，经常可以发现氧化锆靶材表面严重打火、甚至大面积烧蚀形成坑洞，这种现象是电弧放电引起的，而电弧放电尤其会在具有不同导电性的区域发生，这是由于氧化锆靶材中存在不同的金相导致的，氧化锆存在三种金相且易发生相变，因此，有必要以导电性为切入点，以低的电阻率及高均匀性为目标，来制备一种稳定的导电旋转氧化锆靶材，公开号为CN111041432A的专利文件公开了一种旋转氧化锆靶材及其制备方法，该种方法通过一系列流程解决了上述背景技术中提出的问题，但是现有技术中，缺乏一种利用该方法以一体化完成氧化锆靶材的生产设备，因而本发明为解决上述问题，提供了一种导电氧化锆旋转靶材生产装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，通过加工机构、水循环机构、送料机构和送气机构的设计，解决了现有市场上缺乏一种能够完成氧化锆旋转靶材的生产设备的问题。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，包括支撑框架，所述支撑框架内表面之间分别固定安装有加工机构、水循环机构、送料机构和送气机构，所述支撑框架侧面固定安装有负压吸尘机构，所述水循环机构、送料机构、送气机构和负压吸尘机构一端均与加工机构连通；

所述加工机构包括机体，所述机体周侧面与支撑框架固定连接，所述机体侧面与送气机构固定连通，所述机体另一侧面固定连通有与负压吸尘机构连通的吸尘罩，所述机体顶面固定连通有排气管，所述机体内部固定开设有与水循环机构连通的分水环腔，所述分水环腔内壁转动连接有布水环座，所述机体内部轴线位置固定安装有与送料机构和送气机构连通的喷涂组件，所述机体内部通过轴承转动连接有压持机构，所述机体周侧面固定连接有伺服电机，所述伺服电机输出轴的一端通过锥齿轮与压持机构传动连接，所述机体内壁由上至下依次固定安装有第一静齿环和第二静齿环，所述第一静齿环和第二静齿环内壁均与压持机构啮合。

优选的，所述压持机构包括传动座、旋压动盘、旋压静盘和集液排管，所述传动座、旋压静盘和集液排管周侧面均通过轴承与机体转动连接，所述集液排管底部固定连通有排水管，所述排水管一端与水循环机构固定连通，所述伺服电机输出轴的一端通过锥齿轮与传动座传动连接，所述传动座与旋压动盘相对表面之间固定安装有一组呈圆周阵列分布的施压推杆，所述旋压动盘和旋压静盘相对表面之间固定安装有一组呈圆周阵列分布的联动伸缩杆，所述旋压动盘和旋压静盘相对表面之间安装有一组呈圆周阵列分布的定位模块，一组所述定位模块周侧面均与第一静齿环和第二静齿环传动连接，一组所述定位模块顶端均与布水环座固定连通，一组所述定位模块底端均与集液排管固定连通。