[发明专利]一种多气体均匀混气罐

说明书

本发明公开了一种多气体均匀混气罐，包括混气罐罐体，混气罐罐体内部的中部位置按不同高度设置有第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板，第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板贯穿圆心固定设置有网孔板连接柱，第一混气网孔板和第二混气网孔板之间设置有第一混合腔，第二混气网孔板和第三混气网孔板之间设置有第二混合腔，第三混气网孔板和第四混气网孔板之间设置有第三混合腔。本发明的一种多气体均匀混气罐，就很好的解决了单独进入气体不能在工艺腔室容积中均匀化的问题，使得各种气体在经过流量计精确控制所需进入的流量后，各个气体不单独进入工艺腔室。

技术领域

本发明涉及光伏和半导体领域如链式炉和需要对气体混气后进入工艺腔室的设备领域，特别是一种多气体均匀混气罐。

背景技术

传统方式为，工艺腔室所需要的不同气体，都各自分别用管路单独通入工艺腔室，按照工艺需求对不同气体的需求量分别采用流量计进行精确控制其进入量，都单独进入工艺腔室做工艺过程，由于腔室一般较大，各种气体需求量也有所不同，有的气体需求量很少，则在进入工艺腔室后不能很好的均布于工艺腔室容积中，则在正常的工艺过程中由于工艺腔室容积中不能实现气体浓度的均匀化，从而不能对工艺件实现很好的工艺结果。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述问题，设计了一种多气体均匀混气罐。

实现上述目的本发明的技术方案为，一种多气体均匀混气罐，包括混气罐罐体，所述混气罐罐体内部的中部位置按不同高度设置有第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板，所述第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板贯穿圆心固定设置有网孔板连接柱，所述第一混气网孔板和第二混气网孔板之间设置有第一混合腔，所述第二混气网孔板和第三混气网孔板之间设置有第二混合腔，所述第三混气网孔板和第四混气网孔板之间设置有第三混合腔。

作为对本发明的进一步说明，所述第二混气网孔板固定在第一混气网孔板的上端，所述第三混气网孔板固定在第二混气网孔板的上端，所述第四混气网孔板固定在第三混气网孔板的上端。

作为对本发明的进一步说明，所述第一混气网孔板与所述混气罐罐体的底板之间设置有多气进气腔，所述多气进气腔的外壁上设置有若干进气口。

作为对本发明的进一步说明，所述第四混气网孔板与所述混气罐罐体的顶板之间设置有混合出气腔，所述混合出气腔上端顶板的上表面固定有混合气出气口。

作为对本发明的进一步说明，所述混合气出气口通过连接管连接有工艺腔室。

作为对本发明的进一步说明，所述第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板均呈圆盘状，所述第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板上均匀排布有若干弥散孔。

其有益效果在于，本发明的一种多气体均匀混气罐，就很好的解决了单独进入气体不能在工艺腔室容积中均匀化的问题，使得各种气体在经过流量计精确控制所需进入的流量后，各个气体不单独进入工艺腔室，而是各个气体先通过各自接口进入本发明的一种多气进气腔，经过几个混合腔流转对多种气体的均匀混合后再进入工艺腔室，从而实现不管气体的用量大与小，都可以先混合均匀后进入，对于工艺腔室的容积中可以实现气体浓度的均匀化，大大提高了对工艺件工艺结果优良率，对工艺完整性是极大的促进，推广应用很广。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明俯视方向的剖视图；

图3是图1中A部分的局部放大结构示意图。