[发明专利]一种六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法

权利要求书

1.一种六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一:获取气体样品；

步骤二：采用冷阱装置对气体样品进行富集和解析进样；

步骤三:采用质谱仪对气体样品进行定性、定量分析；

步骤四：对冷阱装置进行老化和反吹。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述采用冷阱装置对气体样品进行富集和解析进样包括以下步骤：

S1：冷阱装置管路预冲洗；

S2：对气体样品进行采样；

S3:将采集的二硫化碳进行解析进样。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述冷阱装置管路预冲洗是指用气体样品和载气气体对冷阱装置管路进行预冲洗，将杂质气体吹出管路，保证采集的样品为采样时段内的样品。

4.根据权利要求2所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述对气体样品进行采样是指将气体样品先经过冷阱装置的除湿阱将水蒸汽除去，再将除过水蒸汽的气体样品进入冷阱装置的捕集阱，使气体样品中的二硫化碳被捕集阱中的吸附剂吸附，其他气体则被抽走。

5.根据权利要求2所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述将采集的二硫化碳进行解析进样是指采样结束后打开加热棒给捕集阱加热将被吸附的二硫化碳解析出来，然后利用载气气体将解析出来的二硫化碳气体载带至质谱仪进行分析。

6.根据权利要求1至5任一项所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述采用质谱仪对二硫化碳气体进行定性、定量分析是指用质谱仪采集二硫化碳气体组分的质荷比为76的分子离子峰(CS₂⁺)，并采用外标法定量计算目标二硫化碳组分，建立“浓度—峰面积响应值”对应的标准曲线，根据积分计算出峰面积响应值，再由标准曲线计算出目标二硫化碳组分的浓度值。

7.根据权利要求1至5任一项所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述质谱仪采用增强型光电子电离飞行时间质谱仪，质谱仪电离源产生的光电子能量为13eV，采用质量数全扫描模式采集二硫化碳气体组分的离子峰，采样频率为40kHz，每张谱图累计采集时间为2.5min。

8.根据权利要求6所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述标准曲线的线性拟合为线性回归，线性回归的数据点加权为等量加权。

9.根据权利要求2所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述对冷阱装置进行老化和反吹是指完成进样分析后，给冷阱装置的捕集阱通载气气体，将吸附剂及管路中残留的气体样品吹出去。

10.根据权利要求2、3、4、5或9任一项所述的六氟化硫气体中二硫化碳组分含量的检测方法，其特征在于，所述预冲洗条件如下：预冲洗温度为20～25℃，预冲洗持续时间为0.5～2min，预冲洗载气流量为50～150mL/min；所述采样条件如下：采样温度为-40～0℃，采样持续时间为3～6min，采样载气流量为300～600mL/min；所述解析进样的条件如下：解析进样温度为140～160℃，解析进样延时为10～30s，持续时间为1～2min；所述老化和反吹的条件如下：温度为180～210℃，持续时间为3～6min，载气流量为300～600mL/min。