[发明专利]一种离轴三反非球面光学系统装调方法

权利要求书

1.一种离轴三反非球面光学系统装调方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、通过确定主镜补偿器、次镜补偿器和三镜补偿器在所述离轴三反非球面光学系统装的调光路上的空间位置，建立关于主镜、次镜和三镜三个非球面反射镜的装调共基准；所述主镜补偿器、所述次镜补偿器和所述三镜补偿器三者的相对位置关系满足设计参数的要求；

S2、选取所述主镜补偿器、所述次镜补偿器和所述三镜补偿器中的任意一个作为第一补偿器放入对应的补偿器限位装置中，调整所述第一补偿器所对应的所述离轴三反非球面光学系统中的第一非球面反射镜的空间位置，使所述第一非球面反射镜的全口径干涉检测面形的RMS值优于1/10λ，

其中，λ为激光干涉仪的工作波长，所述第一非球面反射镜为所述主镜、所述次镜和所述三镜中的一个；

S3、取出所述第一补偿器，将第二补偿器放入对应的补偿器限位装置中，调整所述第二补偿器对应的所述离轴三反非球面光学系统中的第二非球面反射镜的空间位置，使所述第二非球面反射镜的全口径干涉检测面形的RMS值优于1/10λ，

其中，所述第二非球面反射镜为所述主镜、所述次镜和所述三镜中不同于所述第一非球面反射镜的一个；

S4、取出所述第二补偿器，将第三补偿器放入对应的补偿器限位装置中，调整所述第三补偿器对应的所述离轴三反非球面光学系统中的第三非球面反射镜的空间位置，使所述第三非球面反射镜的全口径干涉检测面形的RMS值优于1/10λ，

其中，所述第三非球面反射镜为所述主镜、所述次镜和所述三镜中不同于所述第一非球面反射镜和第二非球面反射镜的一个。

2.根据权利要求1所述的离轴三反非球面光学系统装调方法，其特征在于，还包括以下步骤：

S5、对所述主镜、所述次镜和所述三镜的位置再次进行调整，完成对所述离轴三反非球面光学系统的装调。

3.根据权利要求1所述的离轴三反非球面光学系统装调方法，其特征在于，步骤S1还包括以下步骤：

S101、将入光口均设置在同一个方向的所述主镜补偿器、所述次镜补偿器和所述三镜补偿器放入各自对应的补偿器限位装置中，将主镜补偿器限位装置、次镜补偿器限位装置和三镜补偿器限位装置沿光轴方向摆放；

S102、利用激光跟踪仪精确调整所述主镜补偿器限位装置、所述次镜补偿器限位装置和所述三镜补偿器限位装置的位置，使所述主镜补偿器、所述次镜补偿器和所述三镜补偿器三者的光轴重合，并且三者的相对位置关系满足预设参数。

4.根据权利要求1所述的离轴三反非球面光学系统装调方法，其特征在于，所述次镜的外表面为凸面且镀有反射膜，所述次镜的内表面为凹面。

5.根据权利要求1所述的离轴三反非球面光学系统装调方法，其特征在于，所述次镜为离轴非球面反射镜或同轴非球面反射镜。

6.根据权利要求1-5任一项所述的离轴三反非球面光学系统装调方法，其特征在于，所述次镜的镜体材料可透射激光干涉仪的工作波长，使所述激光干涉仪发出的光经所述次镜的背面进入所述次镜的镜体后被所述次镜的内表面反射，其反射光返回所述次镜补偿器，并进入所述激光干涉仪完成波面干涉，实现次镜面形检测。

7.根据权利要求1所述的离轴三反非球面光学系统装调方法，其特征在于，所述主镜补偿器、所述次镜补偿器和所述三镜补偿器均为零位补偿器。