[发明专利]紫外胶预固化时间测量装置及方法有效

专利信息
申请号: 202110803459.5 申请日: 2021-07-16
公开(公告)号: CN113418599B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 陈伟;陈少康;金亚;班德超;翟鲲鹏;穆春元;陈寅芳;李明;祝宁华 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01J1/42 分类号: G01J1/42;G01J1/04
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 紫外 固化 时间 测量 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种紫外胶预固化时间测量装置,其特征在于,包括:

振动测试平台(1);

子载体(2),安装在所述振动测试平台(1)上,以随所述振动测试平台(1)振动;

激光发射组件,安装在所述子载体(2)上;

汇聚透镜(33),通过待测的紫外胶可移除地粘接在所述子载体(2)上;

紫外光源(62),被构造成照射所述紫外胶,使得所述紫外胶至少发生预固化,以改变所述汇聚透镜(33)相对于所述子载体(2)的位置;以及

探测器阵列(34),被构造成记录所述激光发射组件发射的激光经所述汇聚透镜(33)后的光强,以通过根据所述紫外光源照射所述紫外胶的时间和由于所述紫外胶的预固化导致的所述光强的变化确定所述紫外胶的预固化时间。

2.根据权利要求1所述的紫外胶预固化时间测量装置,其特征在于,所述激光发射组件包括:

激光器芯片(311),所述激光器芯片(311)发射的激光波长与所述探测器阵列(34)响应波长匹配;

激光器热沉(312),适用于控制所述激光器芯片(311)的温度不变;以及

准直透镜组件(32),被构造成将所述激光器芯片(311)所发出的激光转换为平行光。

3.根据权利要求1所述的紫外胶预固化时间测量装置,其特征在于,还包括:

悬臂机构(4),所述悬臂机构(4)设置于所述汇聚透镜(33)上方,适用于移动所述汇聚透镜(33)及将所述汇聚透镜(33)固定在所述子载体(2)上。

4.根据权利要求3所述的紫外胶预固化时间测量装置,其特征在于,所述悬臂机构(4)包括:

移动装置(41),被构造成在水平面内沿两个彼此垂直的方向移动;

伸缩块(42),在竖直方向上可移动地安装在所述移动装置(41)下方;

真空吸嘴(43),安装在所述伸缩块(42)下方,适用于吸取并移动所述汇聚透镜(33)、以及将所述汇聚透镜(33)固定在所述子载体(2)上。

5.根据权利要求3所述的紫外胶预固化时间测量装置,其特征在于,还包括喷胶组件(5),所述喷胶组件(5)包括:

第一夹持臂(51),安装于所述悬臂机构(4)上;

喷胶装置(52),与所述第一夹持臂(51)连接,以在第一夹持臂(51)的带动下靠近和远离所述汇聚透镜(33)。

6.根据权利要求5所述的紫外胶预固化时间测量装置,其特征在于,所述喷胶装置(52)上设置直线导轨(53),以使所述喷胶装置(52)的喷嘴(521)沿所述喷胶装置(52)的轴线方向靠近和远离所述汇聚透镜(33),其中,

所述喷嘴(521)在到达所述汇聚透镜(33)所在位置的情况下进行喷胶,以将所述汇聚透镜(33)粘接在子载体(2)上,喷胶完成后所述喷胶装置(52)远离所述汇聚透镜(33)并复位。

7.根据权利要求3所述的紫外胶预固化时间测量装置,其特征在于,所述紫外光源(62)通过第二夹持臂(61)安装于所述悬臂机构(4)上。

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