[发明专利]工业用机器人

说明书

本发明提供一种能够抑制搬运对象物交付时的冲击的工业用机器人。该工业用机器人具备装载搬运对象物(2)的手(4、14)和用于修正手(4、14)的倾斜的倾斜修正机构(8)。倾斜修正机构(8)具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使手(4、14)转动的第一倾斜修正机构(45)；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手(4、14)转动的第二倾斜修正机构(46)。

技术领域

本发明涉及一种搬运半导体晶圆等搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

以往，已知一种搬运在曝光装置中使用的掩模等薄板状的搬运对象物的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备：装载搬运对象物的手；支承手的基端侧的线性驱动部；支承线性驱动部的主体部；以及将主体部支承为能够沿水平方向移动的基座部件。线性驱动部使手直线移动。

另外，专利文献1所记载的工业用机器人具备用于修正装载有搬运对象物时的手及线性驱动部的弯曲引起的搬运对象物的倾斜的倾斜修正机构。倾斜修正机构以形成于线性驱动部和主体部的连接部分的支点部为转动中心，使手及线性驱动部相对于主体部转动。另外，倾斜修正机构将与由线性驱动部移动的手的移动方向正交并且与上下方向(铅垂方向)正交的方向作为转动的轴向，使手及线性驱动部相对于主体部转动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－76066号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

为了防止专利文献1所记载的工业用机器人搬运搬运对象物并将其交给规定的交付部时、或工业用机器人接收配置在交付部的搬运对象物时的搬运对象物的损伤，优选在进行搬运对象物的交付时对搬运对象物施加的冲击尽可能小。为了抑制搬运对象物交付时的冲击，优选装载有搬运对象物的交付部的装载面和装载有搬运对象物的手的装载面尽可能平行地接近。另一方面，由于交付部的偏差或工业用机器人的姿势等的影响，手的装载面可能相对于交付部的装载面大幅倾斜。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，虽然能够利用倾斜修正机构将与上下方向正交的规定的一方向作为转动的轴向修正手的倾斜，由此来修正手的装载面的倾斜，但是，即使进行这样的修正，也可能产生无法修正手的装载面相对于交付部的装载面的倾斜以使交付部的装载面和手的装载面平行地接近的情况。即，在专利文献1所记载的工业用机器人的情况下，可能产生以下情况：难以使交付部的装载面和手的装载面平行地接近，无法抑制搬运对象物交付时的冲击。

因此，本发明的技术问题在于提供一种能够抑制搬运对象物交付时的冲击的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述的技术问题，本发明提供一种工业用机器人，其特征在于，具备装载搬运对象物的手和用于修正手的倾斜的倾斜修正机构，倾斜修正机构具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使手转动的第一倾斜修正机构；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手转动的第二倾斜修正机构。

在本发明的工业用机器人中，用于修正手的倾斜的倾斜修正机构具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使手转动的第一倾斜修正机构；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手转动的第二倾斜修正机构。因此，在本发明中，能够使用第一倾斜修正机构和第二倾斜修正机构修正手的装载面相对于交付部的装载面的倾斜，以使进行搬运对象物的交付的交付部中的搬运对象物的装载面和手的搬运对象物的装载面平行地接近。因此，在本发明中，能够抑制在交付部和工业用机器人之间进行交付的搬运对象物交付时的冲击。