[发明专利]一种应用在双面电极芯片的重布线方法及一种芯板在审
申请号: | 202110804814.0 | 申请日: | 2021-07-16 |
公开(公告)号: | CN113555290A | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 蔡琨辰 | 申请(专利权)人: | 江门市世运微电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/48;H01L23/485;H01L23/495 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 叶恩华 |
地址: | 529728 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用 双面 电极 芯片 布线 方法 | ||
1.一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,应用在双面电极芯片上,其具体步骤包括:
对铜支架进行双面蚀刻,形成通孔;
将所述双面电极芯片安装在所述通孔处;
第一绝缘层压合在所述双面电极芯片的上方;
对所述铜支架进行单边蚀刻,形成铜柱;
第二绝缘层压合在所述双面电极芯片的下方,所述第一绝缘层和所述第二绝缘层相连接以形成第三绝缘层,所述第三绝缘层包裹着所述铜柱和所述双面电极芯片;
对所述第三绝缘层进行双面蚀刻,形成设置在所述铜柱处的铜柱盲孔部和设置在所述双面电极芯片的芯片盲孔部;
对所述铜支架盲孔部和所述芯片盲孔部进行电镀填孔,形成第一重布线层和第二重布线层,对所述第一重布线层进行切割,所述第一重布线层通过所述铜柱与所述第二重布线层连通。
2.根据权利要求1所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,对铜支架进行双面蚀刻,形成通孔步骤之后,还包括:
在所述通孔的下方安装支撑板。
3.根据权利要求2所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,第一绝缘层压合在所述双面电极芯片的上方步骤之后,还包括:
移除所述支撑板。
4.根据权利要求1所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,所述第三绝缘层包括从上到下排列的第一铜箔层、绝缘材料层和第二铜箔层。
5.根据权利要求4所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,所述第一绝缘层包括从上到下排列的所述第一铜箔层和所述绝缘材料层的上半部,所述第二绝缘层包括从上到下排列的所述绝缘材料层的下半部和所述第二铜箔层。
6.根据权利要求1所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,对铜支架进行双面蚀刻,形成通孔步骤包括:
在所述铜支架上贴干膜;
将所述干膜暴露,直到其处于显影状态;
对所述铜支架进行双面蚀刻,形成通孔;
将所述干膜从所述铜支架处脱离。
7.根据权利要求1所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,所述第一重布线层包括设置在第一盲孔内的第一金属层和设置在第二盲孔内的第二金属层。
8.根据权利要求7所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,所述第一金属层与双面电极芯片的一电极电连接,所述第二金属层通过所述第二重布线层与所述双面电极芯片的另一电极电连接。
9.根据权利要求1所述的一种应用在双面电极芯片的重布线方法,其特征在于,对所述铜支架盲孔部和所述芯片盲孔部进行电镀填孔,形成第一重布线层和第二重布线层步骤之后,包括:
对芯板进行包装,并对该芯板镀金。
10.一种芯板,其特征在于,包括:
绝缘层;
铜柱,所述铜柱嵌入在所述绝缘层的内部;
双面电极芯片,所述双面电极芯片嵌入在所述绝缘层的内部;
第一盲孔,所述第一盲孔设置在所述铜柱的上方;
第二盲孔,所述第二盲孔设置在所述铜柱的下方;
第三盲孔,所述第三盲孔设置在所述双面电极芯片的上方,且与所述双面电极芯片的一电极电连接;
第四盲孔,所述第四盲孔设置在所述双面电极芯片的下方;
金属层,所述第一盲孔、所述第二盲孔、所述第三盲孔和所述第四盲孔均被所述金属层填充,且所述第一盲孔通过铜柱和金属层与所述双面电极芯片的另一电极电连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江门市世运微电科技有限公司,未经江门市世运微电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110804814.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造