[发明专利]一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置

权利要求书

1.一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，包括安装盒(1)，其特征在于：所述安装盒(1)内安装有烧写器(3)，所述烧写器(3)的右侧于安装盒(1)内安装有烧写盒(4)，所述烧写盒(4)内安装有两个晶圆固定装置(5)，所述安装盒(1)的顶部安装有顶盖装置(2)，所述安装盒(1)的右侧安装有用于固定顶盖装置(2)的锁紧装置(6)，所述安装盒(1)的左右两侧均开设有多个散热孔(101)，所述安装盒(1)的内部左右两端均安装有一个除尘网(7)，所述安装盒(1)的底部安装有延伸至其内部的水冷装置(8)，所述水冷装置(8)包括：水箱(801)、水泵(802)、主体管(803)、吸热球(804)和冷却管(805)，所述水箱(801)安装于安装盒(1)的底部，所述水箱(801)内安装有水泵(802)，所述安装盒(1)的内部左右两侧分别安装有一个主体管(803)，所述主体管(803)上设置有多个吸热球(804)，所述水泵(802)通过水管与主体管(803)相连，所述主体管(803)通过水管与冷却管(805)相连，所述冷却管(805)通过水管与水箱(801)相连。

2.根据权利要求1所述的晶圆铝条烧写确认测试防护装置，其特征在于：两个所述晶圆固定装置(5)关于烧写盒(4)的轴线上下对称设置。

3.根据权利要求2所述的晶圆铝条烧写确认测试防护装置，其特征在于：所述晶圆固定装置(5)包括：滑套(501)、导杆(502)、第一弹簧(503)和夹紧板(504)，所述滑套(501)安装于烧写盒(4)的内壁上，所述滑套(501)内滑动连接有延伸至其外部的导杆(502)，所述导杆(502)的一端通过第一弹簧(503)与烧写盒(4)的内壁弹性连接，所述导杆(502)的另一端与夹紧板(504)相连。

4.根据权利要求1所述的晶圆铝条烧写确认测试防护装置，其特征在于：所述顶盖装置(2)包括：盖板(201)、轴套(202)、销轴(203)和把手(204)，所述安装盒(1)的顶部左端安装有轴套(202)，所述轴套(202)内转动连接有销轴(203)，所述销轴(203)上安装有延伸至轴套(202)外部的盖板(201)，所述盖板(201)上安装有把手(204)。

5.根据权利要求4所述的晶圆铝条烧写确认测试防护装置，其特征在于：所述锁紧装置(6)包括：支撑板(601)、转轴(602)、偏心凸轮(603)、压板(604)和第二弹簧(605)，所述支撑板(601)安装于安装盒(1)的右侧，所述支撑板(601)上安装有转轴(602)，所述转轴(602)的顶部与偏心凸轮(603)相连，所述偏心凸轮(603)的下侧安装有压板(604)，所述压板(604)的上侧通过第二弹簧(605)与偏心凸轮(603)相贴合，所述压板(604)的底部与盖板(201)紧密贴合。

6.根据权利要求1所述的晶圆铝条烧写确认测试防护装置，其特征在于：所述冷却管(805)由多个U型管组成。