[发明专利]一种用于CMM系统的控制方法

权利要求书

1.一种用于CMM系统的控制方法，其特征在于，包括下述步骤：

步骤S110：提供一探头及围绕所述探头设置的若干个激光干涉仪，若干个所述激光干涉仪出射的激光汇交于所述探头处；

步骤S120：建立所述探头的位移与所述激光干涉仪之间的联系；

步骤S130：分析被测物体的面形特点，并通过所述探头打点得到相应的干涉仪位移，从而得到特征面上的特征点，并通过最小二乘法拟合的方式进行特征拟合；

步骤S140：采用最小插值的方法，生成特征面上的点集，并将该点集作为自动打点的采样点；

步骤S150：根据所述采样点完成对被测物体平面的打点工作；

步骤S160：将上述步骤中打点工作得到的点集进行zernike多项式拟合，得到拟合的波面，进而得到PV与RMS值，完成对面形的分析。

2.根据权利要求1所述的用于CMM系统的控制方法，其特征在于，所述激光干涉仪为三个，且以相互垂直的方式安装。

3.根据权利要求1所述的用于CMM系统的控制方法，其特征在于，在建立所述探头的位移与所述激光干涉仪之间的联系的步骤中，具体为：

运行Labview上位机程序中数据采集模块，所述数据采集模块读取所述激光干涉仪的数据并反馈给所述Labview上位机，所述Labview上位机根据所述数据建立所述探头的位移与所述激光干涉仪之间的联系，所述Labview上位机电性连接所述激光干涉仪及所述探头。

4.根据权利要求3所述的用于CMM系统的控制方法，其特征在于，所述激光干涉仪感知所述探头在笛卡尔坐标系下的3个自由度位移变化量，以建立坐标变化方程组，通过最小二乘法拟合的方式，求解坐标变化方程中的坐标变换矩阵，进而得到所述探头在探测被测物体时的变形量与激光干涉仪的对应关系。

5.根据权利要求1所述的用于CMM系统的控制方法，其特征在于，在采用最小插值的方法，生成特征面上的点集，并将该点集作为自动打点的采样点的步骤中，具体为：

利用Matlab软件，采用最小插值的方法，生成特征面上的点集，并将该点集作为自动打点的采样点。

6.根据权利要求1所述的用于CMM系统的控制方法，其特征在于，在根据所述采样点完成对被测物体平面的打点工作的步骤中，具体包括：

Labview上位机获取所述采样点，所述Labview上位机中的自动打点模块根据所述采样点完成对被测平面的打点工作。

7.根据权利要求1所述的用于CMM系统的控制方法，其特征在于，在将带数据进行zernike多项式拟合，得到拟合的波面，进而得到PV与RMS值，完成对面形的分析的步骤中，具体包括：

Labview上位机中的数据解耦模块获取所述带数据，并将保存的带数据点进行解耦并用TMS文件存储后进行zernike多项式拟合，得到拟合的波面，进而得到PV与RMS值，完成对面形的分析。