[发明专利]一种量子点光电探测器以及制备方法在审
申请号: | 202110807337.3 | 申请日: | 2021-07-16 |
公开(公告)号: | CN113328006A | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 陈龙;高亮;唐江;张琳祥;张建兵;刘宇轩;刘沛林;刘婧;李豪 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L31/101 | 分类号: | H01L31/101;H01L31/0216;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人: | 杨晓云 |
地址: | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 量子 光电 探测器 以及 制备 方法 | ||
1.一种量子点光电探测器,其特征在于,所述量子点光电探测器包括基底、量子点层和顶电极层;
所述量子点层位于所述基底的上方;
所述顶电极层位于所述量子点层的上方;
所述顶电极层为整面化的形状。
2.根据权利要求1所述的量子点光电探测器,其特征在于,所述基底选自硅片、CMOS电路底板、氧化铟锡基底中的任一种;
优选地,所述量子点层包括量子点;
所述量子点选自PbS、PbSe、HgTe中的任一种;
优选地,所述量子点层形成了图案化的像素点;
优选地,所述顶电极层选自ITO电极层、AZO电极层中的任一种。
3.根据权利要求1所述的量子点光电探测器,其特征在于,所述量子点光电探测器还包括电荷传输层;
所述电荷传输层位于量子点层和顶电极层之间;或者,
所述电荷传输层位于基底和量子点层之间;
优选地,所述电荷传输层选自ZnO层、SnO层中的任一种。
4.根据权利要求1所述的量子点光电探测器,其特征在于,所述量子点光电探测器由下至上依次包括基底、量子点层、顶电极层;
优选地,所述量子点光电探测器由下至上依次包括基底、量子点层、电荷传输层、顶电极层;
优选地,所述量子点光电探测器由下至上依次包括基底、电荷传输层、量子点层、顶电极层。
5.一种权利要求1至4任一项所述量子点光电探测器的制备方法,其特征在于,所述制备方法至少包括以下步骤:
a)获得量子点;
b)将所述量子点配制为量子点浆料;
c)将所述量子点浆料直接或间接旋涂在基底上,得到量子点层;
d)将顶电极层直接或间接附着在所述量子点层上,得到顶电极层。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤b)包括:
b-1)将所述量子点与物料a在有机溶剂Ⅰ中混合,得到配体溶液;
所述物料a为PbI2和PbBr2的混合物,或者所述物料a为PbI2、PbCl2和PbBr2的混合物;
b-2)向所述配体溶液中加入乙酸乙酯或甲苯,反应,离心,得到固态粉末;
b-3)将所述固态粉末加入有机溶剂Ⅱ中混合,得到所述量子点浆料;
优选地,步骤c)中,所述将所述量子点浆料间接旋涂在基底上,包括:
将电荷传输层直接附着在所述基底上,之后将所述量子点浆料旋涂在所述电荷传输层上;
优选地,步骤d)中,所述将顶电极层间接附着在所述量子点层上,包括:
将电荷传输层直接附着在所述量子点层上,之后将所述顶电极层附着在电荷传输层上;
优选地,所述制备方法包括方法一、方法二或者方法三中的任一种;
方法一:
1-1)将量子点浆料直接旋涂在基底上,得到附着有量子点层的基底;
1-2)之后顶电极层直接附着在所述量子点层上,得到所述量子点光电探测器;
方法二:
2-1)将量子点浆料直接旋涂在基底上,得到附着有量子点层的基底;
2-2)将电荷传输层直接附着在所述量子点层上;
2-3)将顶电极层直接附着在所述电荷传输层上,得到所述量子点光电探测器;
方法三:
3-1)将电荷传输层直接附着在基底上;
3-2)将量子点浆料直接旋涂在所述电荷传输层上,得到量子点层;
3-3)将顶电极层直接附着在所述量子点层上,得到所述量子点光电探测器。
7.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,在步骤c)中,将所述量子点浆料直接或间接旋涂在基底上以后,在60-90℃的条件下退火8~12min,即可得到所述量子点层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的