[发明专利]一种铌合金溅射靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，按质量份数计，所述铌合金溅射靶材中含铌元素40~80份、钛元素20~60份；

铌合金溅射靶材的制备方法主要包括如下步骤：

步骤一、按质量份数计，取铌粉40~80份、钛粉20~60份、活性碳粉0.1~0.3份在保护气体的气氛下进行球磨混料，充分混合均匀得到混合粉末；

步骤二、将步骤一得到混合粉末装入胶套内，然后进行冷等静压成型，得到坯体；

步骤三、将步骤二得到的坯体装入包套，进行真空除气，对除气后的包套进行热等静压处理，得到烧结坯；

步骤四、将步骤三得到的烧结坯在保护气氛下加热，然后进行热轧、校平，最后进行退火，得到铌合金板坯；

步骤五、将步骤四得到的铌合金板坯进行磨削加工，即得到铌合金溅射靶材；

其中，步骤三中，包套材料为碳钢板或者不锈钢板，真空除气加热温度为400~700℃，真空度低于10^-2Pa，抽真空保持时间为2~6h。

2.根据权利要求1所述的一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤一中，铌粉、钛粉的纯度均不低于99.9%，过200目筛；活性碳粉纯度不低于99.9%，过100目筛。

3.根据权利要求1所述的一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤一中，球磨混料的工艺为：将铌粉、钛粉和活性碳粉置于V型混料机中，通氩气作为保护气体，按照球料比为1:1~1.5进行混料，混料时间为12~48h。

4.根据权利要求1所述的一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤二中，混合粉末装入胶套后，在震动平台进行振实，并用钢板加固。

5.根据权利要求1所述的一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤二中，冷等静压压力为100~300MPa，保压时间为3~10min。

6.根据权利要求1所述的一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤三中，热等静压作业的工艺参数为：以氩气为介质，压强为100~200MPa，温度为1000~1500℃，保持时间为3~10h。

7.根据权利要求1所述的一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤四中，热轧前加热所用保护气体为氩气，加热温度为300~1000℃，热轧分3~5道次轧制，每道次轧制变形量不低于20%。

8.根据权利要求1所述的一种铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤四中，退火温度为800-1300℃，退火保温时间为0.5~2h，之后自然冷却至室温。

9.一种铌合金溅射靶材，其特征在于，利用权利要求1～8任一项所述制备方法制备得到。