[发明专利]一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统

权利要求书

1.一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其与上位机进行连接，其特征在于，包括：

温度监控模块，用于对被测光学组件周边的温度进行监测；

振动监控模块，用于对被测光学组件的振动情况进行监测；

内部位姿监测模块，用于对被测光学组件的自身姿态情况进行监测。

2.根据权利要求1所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，还包括：

外部位姿监测模块，用于对被测光学组件的所处水平面的姿态情况进行监测。

3.根据权利要求1所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，所述温度监控模块包括温度信号处理单元及若干个温度传感器，所述温度信号处理单元分别与所述上位机、温度传感器连接，所述温度传感器安装在所述被测光学组件的边上。

4.根据权利要求1所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，所述振动监控模块包括振动信号处理单元及振动传感器，所述振动信号处理单元分别与所述上位机、振动传感器连接。

5.根据权利要求1所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，所述内部位姿监测模块包括位置传感器信号处理单元及六个位置传感器，所述位置传感器信号处理单元分别与所述上位机、位置传感器连接。

6.根据权利要求5所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，六个所述位置传感器分为三组，每组包括两个所述位置传感器，三组位置传感器分别连接在所述被测光学组件的不同的侧边上。

7.根据权利要求6所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，在每组中两个所述位置传感器分别横向和竖向安装在所述被测光学组件上。

8.根据权利要求7所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，所述位置传感器的接线端接入所述位置传感器信号处理单元内，所述位置传感器信号处理单元通过RS-232总线插入所述上位机内。

9.根据权利要求2所述的一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统，其特征在于，所述外部位姿监测模块包括激光干涉仪与测试镜，所述激光干涉仪与所述被测光学组件均固定在同一光学平台上且相向设置，所述测试镜固定在所述被测光学组件上，所述激光干涉仪与所述测试镜校准水平对齐，所述激光干涉仪与所述上位机连接。