[发明专利]一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法

权利要求书

1.一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1采用机械研磨对铜/镍异质微结构表面进行粗平坦化；

S2采用化学机械抛光对经过机械研磨的铜/镍异质微结构表面进行精平坦化；

其中，步骤S2的化学机械抛光采用的抛光液包括以下组分：0~10 wt%的金属氧化剂、0~2 wt%的复配金属缓蚀剂、0.01~10 wt%的金属络合剂、0.01~40 wt%的研磨颗粒，其余为水及少量pH值调节剂，pH值为3~7，wt%表示质量百分比；

在所述步骤S2化学机械抛光中，通过调节抛光液中金属氧化剂的含量，调控铜、镍材料去除速率选择比，获得铜和镍等速去除，实现铜/镍异质微结构表面平坦化；

通过调节抛光液pH值和金属络合剂的含量，并同时使用复配金属缓蚀剂，从而抑制铜、镍间的电偶腐蚀。

2.根据权利要求1所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，步骤S1机械研磨采用的研磨盘为：砂纸研磨盘、金刚石研磨盘、氧化铝研磨盘、油石研磨盘、氧化硅研磨盘、玻璃研磨盘、陶瓷研磨盘、铸铁研磨盘、黄铜研磨盘、紫铜研磨盘、锡合金研磨盘中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，步骤S2化学机械抛光采用的抛光垫为：聚氨酯抛光垫、人工皮革抛光垫、毛毡抛光垫中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，所述抛光液中的金属氧化剂为：过氧化氢、过氧化钠、过氧化脲、过氧甲酸、过氧乙酸、过碳酸钠中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，所述抛光液中的复配金属缓蚀剂包括两类组分：一类为一种或多种氮唑类化合物，另一类为一种或多种表面活性剂；两类组分进行组合复配。

6.根据权利要求5所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，所述氮唑类化合物为：1,2,3-苯并三氮唑、4-甲基-1H-苯并三氮唑、5-甲基-1H-苯并三氮唑、5,6-二甲基-1,2,3-苯并三氮唑、1-羟基苯并三氮唑、1,2,3-三氮唑、1,2,4-三氮唑、3-甲基-1H-1,2,4-三氮唑、3-氨基-1,2,4-三氮唑、4-氨基-1,2,4-三氮唑、3,5-二氨基-1,2,4-三唑、1H-1,2,3,4-四氮唑、5-甲基四氮唑、5-氨基-1H-四氮唑、5-氨基-1-甲基四氮唑、5-苯基-1H-四氮唑、吡唑、咪唑、苯并咪唑中的一种。

7.根据权利要求5所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，所述表面活性剂为：十二烷基苯磺酸钠、α-烯基磺酸钠、十二烷基硫酸铵、N-月桂酰基谷胺酸钠、十二烷基磷酸钠、油酸钠、月桂基硫酸三乙醇胺、脂肪醇羟乙基磺酸钠、椰子酰甲基牛磺酸钠、十二醇聚氧乙烯醚磺基琥珀酸酯二钠、仲烷基磺酸钠、十二烷基醇聚氧乙烯醚硫酸钠、N-月桂酰肌胺酸钠、十二烷基醚硫酸钠、十二烷基硫酸钠、月桂醇聚氧乙烯醚羧酸钠、十二烷基磷酸酯、十二烷基磺酸钠、酰胺基聚氧乙烯醚硫酸镁、十二烷基磷酸酯钾盐、十二烷基磷酸酯三乙醇胺、硬脂酸钠中的一种。

8.根据权利要求1所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，所述抛光液中的金属络合剂为二水合草酸。

9.根据权利要求1所述的一种微尺度3D打印铜/镍异质微结构表面平坦化方法，其特征在于，所述抛光液中的研磨颗粒为胶体二氧化硅。