[发明专利]一种锗晶体生长设备复合减速器装置

权利要求书

1.一种锗晶体生长设备复合减速器装置，包括驱动机构(1)，其特征在于，所述驱动机构(1)包括基杆(11)，所述基杆(11)的表面通过固定组件固定连接有电机(12)，所述电机(12)的输出端固定连接有第一齿轮(13)，所述基杆(11)的下表面固定连接有L型固定杆(14)，所述基杆(11)的下表面一端通过轴承转动连接有连接杆(15)，所述连接杆(15)的底端固定连接有第二齿轮(16)，所述L型固定杆(14)的底端设置有抬升机构(2)和拉晶机构(3)；

所述抬升机构(2)包括第一行星减速器(21)，所述第一行星减速器(21)固定连接在L型固定杆(14)的表面，所述第一行星减速器(21)的输出端固定连接有转杆(22)，所述转杆(22)的靠近底端的表面开设有外螺纹(23)，所述转杆(22)的外表面螺纹连接有内螺纹筒(25)，所述转杆(22)的底端固定连接有限位块(24)，所述内螺纹筒(25)的一侧表面固定连接有横杆(26)；

所述拉晶机构(3)包括第二行星减速器(31)，所述第二行星减速器(31)的输出端固定连接有输出杆(32)，所述输出杆(32)的底端表面开设有滑槽(33)，所述滑槽(33)的内部滑动连接有提拉杆(34)，所述提拉杆(34)的侧表面中心处固定连接有圆块(35)，所述提拉杆(34)的底端固定连接有籽晶固定组件(37)，所述提拉杆(34)靠近底端的外表面滑动连接有圆筒(36)。

2.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备复合减速器装置，其特征在于：所述第一齿轮(13)与第二齿轮(16)相啮合。

3.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备复合减速器装置，其特征在于：所述电机(12)的输出端与第一行星减速器(21)的输入端固定连接，所述连接杆(15)与第二行星减速器(31)的输入端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备复合减速器装置，其特征在于：所述提拉杆(34)与滑槽(33)连接处设置有旋转限位结构。

5.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备复合减速器装置，其特征在于：所述圆筒(36)的上表面与圆块(35)的下表面接触设置。

6.根据权利要求1所述的一种锗晶体生长设备复合减速器装置，其特征在于：所述圆筒(36)与横杆(26)固定连接。