[发明专利]一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置

权利要求书

1.一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置，包括飞秒激光系统(1)，其特征在于，

从飞秒激光系统(1)输出的波长为800nm的光经过分束片(2a)分为透射光和反射光，反射光先经过第一反射镜(2b)反射，经第一反射镜(2b)反射的光经过半波片(2c)后由望远镜系统进行扩束，扩束后的光分别通过第二反射镜(2f)、第三反射镜(2g)反射后被第一聚焦透镜(2h)聚集；透射光通过BBO倍频晶体(2j)倍频为波长为400nm的光，波长为400nm的光依次经过第四反射镜(2k)、第五反射镜(2l)、第六反射镜(2m)、第七反射镜(2n)、以及第八反射镜(2o)反射后被第二聚焦透镜(2p)聚焦，被第一聚焦透镜(2h)聚集的800nm的光和被第二聚焦透镜(2p)聚焦的400nm的光经过合束片(2i)合束，

经合束片(2i)合束后的光透过布儒斯特窗镜(3a)进入成丝及四波混频发生气池(3e)后在成丝及四波混频发生气池(3e)内产生四波混频效应，产生新的波长为200nm、266nm和160nm的光，波长为800nm、400nm、200nm、266nm和160nm的光透过CaF₂窗片入射到真空腔体(4c)后被三棱镜(4b)分光，

被三棱镜(4b)分光后的光照射在涂有水杨酸钠的薄片(4d)上，光纤(4e)一端靠近薄片(4d)，光纤(4e)另一端连接光谱仪(4f)，光谱仪(4f)通过USB数据线(4h)与计算机(4g)相连。

2.根据权利要求1所述的一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置，其特征在于，所述的望远镜系统包括平凹透镜(2d)和平凸透镜(2e)。

3.根据权利要求1所述的一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置，其特征在于，还包括五通型真空腔，布儒斯特窗镜(3a)设置在五通型真空腔的其中一个端口，成丝及四波混频发生气池(3e)的进光端、高纯氩气瓶(3d)、真空计(3c)、以及机械泵(3b)分别与五通型真空腔的其余四个端口连接，合束光透过布儒斯特窗镜(3a)后经过五通型真空腔入射成丝及四波混频发生气池(3e)的进光端。

4.根据权利要求1所述的一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置，其特征在于，所述的成丝及四波混频发生气池(3e)内充有氩气。

5.根据权利要求1所述的一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置，其特征在于，所述的三棱镜(4b)为MgF₂材质。

6.根据权利要求1所述的一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置，其特征在于，所述的经合束片(2i)合束后的光中800nm的光和400nm的光的首波位置相同，且经合束片(2i)合束后的光中800nm的光和400nm的光的共轴。