[发明专利]一种半导体透视检测设备

说明书

本发明公开了一种半导体透视检测设备，包括支撑地脚、下部内框架、封盖门、新滑台、X‑Y‑U载料平台、上部内框架、摇摆组合总装、控制面板、三色灯、透视门、显示器、操作控制台、连接铰链、X射线防护机壳、接近开关、感应器安装架、感应器支撑架、弧形导轨、第三感应器、第四传感器和安装卡架，所述下部内框架的外端面对称转动卡接有用于限位的封盖门，且位于所述的底端面四角均匀等距固定连有用于支撑的支撑地脚。本发明与以往的设备相比，主要在于平板探测器配备弧形导轨，可做单向倾斜至60度运动，采用X‑Y‑U载料平台，载料平台可做X,Y轴运动，也可做360度旋转运动，可以对产品进行不同角度，不同视角的全方位检测。

技术领域

本发明涉及半导体生产设备技术领域，具体为一种半导体透视检测设备。

背景技术

如专利号为：CN202010508285.5所公开的实用新型专利，本发明公开了一种半导体检测设备，包括壳体，所述壳体的内腔前侧顶端设置有隔板，通风窗，所述通风窗设置于壳体的后侧底端，卡接机构，所述卡接机构的数量为四个，四个所述卡接机构从左至右依次设置于壳体的顶端，测量机构，四个所述测量机构沿左右方向依次设置于壳体的内腔前侧，通断灯，所述通断灯位于卡接机构的底端并设置于壳体的上表面前侧，显示模块，所述显示模块设置于壳体的内腔右侧底端。该半导体检测设备，使检测的半导体样本安装步骤变的简单，降低了检测耗时，多个数据有利于及时进行对比和分析，检测设备对半导体的检测灵活，检测数值可以进行直观及时的反应，增加了检测精度，保证了产品的生产质量。

虽然上述专利能对半导体产品进行检测操作，但是该装置仅能对半导体产品的外部进行一定程度的检测，不能对半导体产品进行不同角度和不同视角的全方位检测，进而降低了后续进行检测的精准性和效率，所以需要一种半导体透视检测设备，以解决上述中提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体透视检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体透视检测设备，包括支撑地脚、下部内框架、封盖门、新滑台、X-Y-U载料平台、上部内框架、摇摆组合总装、控制面板、三色灯、透视门、显示器、操作控制台、连接铰链、X射线防护机壳、接近开关、感应器安装架、感应器支撑架、弧形导轨、第三感应器、第四传感器和安装卡架。