[发明专利]一种用于半导体芯片加工的自动粘片机在审
申请号: | 202110813679.6 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN113571449A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 黄雪仪 | 申请(专利权)人: | 深圳市森孚科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
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地址: | 518000 广东省深圳市福田区福田*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 芯片 加工 自动 粘片机 | ||
本发明公开了一种用于半导体芯片加工的自动粘片机,包括底座,所述底座上表面固定连接有滑轨,所述滑轨滑动连接有滑动座,所述底座上表面固定连接有U形梁,所述U形梁下表面固定连接有电动推杆,所述电动推杆的输出端固定连接有真空块,所述U形梁内开设有两个安装腔,所述U形梁侧壁开设有矩形孔,所述U形梁通过矩形孔贯穿滑动连接有两个滑动板,两个所述滑动板共同与真空块固定连接,所述滑动板位于安装腔内的一段开设有调节槽。优点在于:本发明相较于现有技术,可以自动进行滑动座上各个盘的更换,不需要人工操作更换,使用更加方便,且大大提高了加工效率,同时还可以使得锡胶分布更加均匀,保证产品质量。
技术领域
本发明涉及芯片加工设备技术领域,尤其涉及一种用于半导体芯片加工的自动粘片机。
背景技术
随着科技的不断发展,电子设备的发展也在突飞猛进,电子设备中的重要元件之一就是芯片,在芯片制造封装过程中,需要将半导体裸片放置在待加工件上,然后进行焊接粘片的操作,现有的粘片机往往需要设置两个操作头分别进行吸片与粘片的操作,多次操作后容易存在累积误差。
现有的发明专利,如申请专利号为201711249918.X的一项中国专利公开了一种自动芯片粘片机,主要由控制器、底板、机架、真空吸头等构成,将点胶头和吸片头的功能集中在一个真空吸头上,简化了设备,方便设备的维护。
该技术方案中,在加工生产过程中,需要人工操纵伺服电机进行加工盘、锡胶盘的移动,对准真空吸头,操作过程较为繁琐,且点胶完成后,点胶不一定均匀,可能导致影响产品质量。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中操作繁琐、点胶不均匀问题,而提出的一种用于半导体芯片加工的自动粘片机。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种用于半导体芯片加工的自动粘片机,包括底座,所述底座上表面固定连接有滑轨,所述滑轨滑动连接有滑动座,所述底座上表面固定连接有U形梁,所述U形梁下表面固定连接有电动推杆,所述电动推杆的输出端固定连接有真空块,所述U形梁内开设有两个安装腔,所述U形梁侧壁开设有矩形孔,所述U形梁通过矩形孔贯穿滑动连接有两个滑动板,两个所述滑动板共同与真空块固定连接,所述滑动板位于安装腔内的一段开设有调节槽,所述安装腔通过调节槽贯穿滑动连接有调节块,所述调节块侧壁相抵有不规则轮,所述调节块与对应的滑动板之间固定连接有功能弹簧,所述调节块下表面固定连接有两个竖板,两个所述竖板相对一侧的侧壁均连接有棘爪。
进一步,所述U形梁内设置有驱动滑动座运动的驱动机构,所述驱动机构还包括转轴、齿轮、齿条、棘轮,所述U形梁通过轴承贯穿转动连接有两个转轴,所述棘轮与对应的转轴位于所述安装腔内的一端过盈配合,所述棘轮与对应的棘爪配合,所述齿轮与转轴位于所述U形梁外部的一段过盈配合,所述滑动座下表面固定连接有两个齿条,所述齿轮与对应的齿条啮合。
进一步,所述真空块内设置有启动机构,所述启动机构还包括滑动槽、滑柱、复位弹簧、导电片、步进电机、驱动杆,所述真空块内开设有两个滑动槽,所述真空块通过滑动槽滑动连接有两个滑柱,所述滑柱与滑动槽内顶壁之间固定连接有复位弹簧,所述滑柱上表面与滑动槽内顶壁均固定连接有导电片,所述步进电机固定连接在滑动板上表面,所述驱动杆与步进电机的输出轴固定连接,所述驱动杆远离步进电机的一端与对应的所述不规则轮过盈配合,所述导电片与步进电机通过导线电连接。
进一步,所述滑轨内设置有使滑动座震动的震动机构,所述震动机构还包括功能腔、主动锥齿轮、从动锥齿轮、转动杆、凸轮、通孔、撞击块、连接弹簧,所述滑轨内开设有两个功能腔,所述转轴与滑轨通过轴承贯穿转动连接并延伸至对应的所述功能腔,所述主动锥齿轮与转轴位于所述功能腔内的一端过盈配合,所述功能腔内顶壁与内底壁均通过轴承转动连接有转动杆,所述转动杆过盈配合有凸轮、从动锥齿轮,所述从动锥齿轮与对应的主动锥齿轮啮合。
进一步,所述滑柱下表面固定连接有压紧块,所述压紧块的截面为L形,所述压紧块表面胶合有橡胶垫。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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