[发明专利]电容式传感器、麦克风以及电子设备

说明书

本发明公开一种电容式传感器、麦克风以及电子设备。其中，电容式传感器包括衬底、振膜以及调节机构；衬底设有第一电极；振膜活动连接于衬底；振膜上设有第二电极，第二电极与第一电极均呈梳齿状排布，第二电极与第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；调节机构用于调节第一电极与第二电极之间的间距。本发明技术方案电容式传感器中调节机构能够在麦克风进行灵敏度校准测试时缩小第一电极与第二电极之间的间距，增大电容量，相比于两个极板的间距不变仅施加校准电压达到预期灵敏度的情况下，明显降低了校准电压的需求，从而实现了仅需较低的校准电压便能够达到电容式传感器预期的灵敏度，保证了麦克风灵敏度校准的准确性。

技术领域

本发明涉及麦克风技术领域，特别涉及一种电容式传感器、麦克风以及电子设备。

背景技术

随着科技的发展，微电机技术已经逐渐融入至麦克风的生产领域中，实现了各种传感器的微型化和低成本化，并且在智能终端设备中已经广泛使用。而麦克风作为一种将声音信号转换为电信号的装置，微电机技术传感器的电容式传感器被广泛应用于麦克风中。

相关技术中，采用梳齿电极的电容式传感器中，在进行校准检测时，需要施加很大的电压值才能够实现校准，但是现有的电容式传感器中无法承受或者提供足够大的校准电压值，从而导致麦克风校准失败的问题。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种电容式传感器，旨在采用较低的校准电压便能够实现电容式传感器的校准检测功能，提升电容式麦克风的灵敏度。

为实现上述目的，本发明提出的电容式传感器，包括：

衬底，所述衬底设有第一电极；

振膜，所述振膜活动连接于所述衬底；所述振膜上设有第二电极，所述第二电极与所述第一电极均呈梳齿状排布，所述第二电极与所述第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；以及

调节机构，所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极之间的间距。

在本发明一实施例中，所述调节机构包括连接所述第一电极与所述衬底的伸缩件，所述伸缩件能够在外力作用下伸缩运动，以调节所述第一电极与所述第二电极相对的间隙。

在本发明一实施例中，所述伸缩件的伸缩方向与所述振膜的振动方向垂直。

在本发明一实施例中，在所述伸缩件的伸缩方向上，所述伸缩件的一端与所述衬底固定连接，相对的另一端悬空设置；

在所述伸缩件远离所述衬底的一端设有安装座，所述第一电极设于所述安装座朝向所述第二电极的一侧。

在本发明一实施例中，所述安装座连接所述伸缩件的侧表面与所述衬底连接所述伸缩件的侧表面平行设置。

在本发明一实施例中，所述伸缩件包括至少两个子伸缩件，至少两个所述子伸缩件延所述第一电极的梳齿排布方向间隔均匀设置。

在本发明一实施例中，所述伸缩件为弹性件或者折叠件。

在本发明一实施例中，定义所述第一电极与所述第二电极相对的侧面为第一侧面，所述第二电极与所述第一电极相对的侧面为第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面平行设置，所述第一侧面的延伸方向与所述第二电极的对插方向呈夹角设置；

所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极的对插深度。

在本发明一实施例中，所述衬底包括多个侧边，所述多个侧边围合形成一腔体，所述振膜悬置于所述腔体内；

所述振膜对应每个所述侧边均设有第二电极，每个所述侧边对应设有所述第一电极，所述第一电极与所述第二电极对插设置。

在本发明一实施例中，所述电容式传感器还包括弹性悬臂梁，所述弹性悬臂梁一端与所述衬底固定连接，另一端与所述振膜固定连接。