[发明专利]从远红外到太赫兹波段连续可调的双层石墨烯光电探测器

权利要求书

1.一种从远红外到太赫兹波段连续可调的双层石墨烯光电探测器，其特征在于，双层石墨烯电子传输层封装在上下两层六角氮化硼之间，构成范德瓦尔斯异质结；所述异质结下方放置了石墨作为背栅，异质结上方放置石墨烯作为顶栅，异质结两侧搭载有源极和漏极；所述源极和漏极采用由70 nm厚的铬/金层；所述源极和漏极通过一维电接触技术搭载在异质结两侧；所述一维电接触技术包括刻蚀和热蒸镀；所述双层石墨烯光电探测器放在光学低温恒容器的真空环境中，测量温度为4 K ~77 K，源极和漏极之间的偏置电压为1 ~10 mV。

2.根据权利要求1所述的从远红外到太赫兹波段连续可调的双层石墨烯光电探测器，其特征在于，所述双层石墨烯光电探测器放置在绝缘衬底上。

3.根据权利要求2所述的从远红外到太赫兹波段连续可调的双层石墨烯光电探测器，其特征在于，所述绝缘衬底的材质为SiO₂。

4.根据权利要求2或3所述的从远红外到太赫兹波段连续可调的双层石墨烯光电探测器，其特征在于，所述绝缘衬底的厚度为几十到几百纳米。