[发明专利]一种焦耳热与等离子体协同反应器

权利要求书

1.一种焦耳热与等离子体协同反应器，其特征在于：包括脉冲电源(1)、射频发生器(2)、第一法兰(3)、第二法兰(4)、第一电极(5)、第二电极(6)、第三电极(7)、第四电极(8)、四通连接器(9)、三通连接器(10)、反应夹具(11)和反应腔(12)；所述反应腔(12)的一端通过第一法兰(3)与三通连接器(10)的第一通口相连；所述第三电极(7)的一端穿过三通连接器(10)的第二通口和三通连接器(10)的第一通口进入反应腔(12)内部，并通过导线与反应夹具(11)的一端相连；所述三通连接器(10)的第三通口与外部进气系统相连；所述第三电极(7)的另一端与脉冲电源(1)的一端相连；

所述脉冲电源(1)的另一端与第四电极(8)的一端相连；所述第四电极(8)的另一端穿过四通连接器(9)的第一通口和四通连接器(9)的第二通口进入反应腔(12)内部，并通过导线与反应夹具(11)的另一端相连；所述四通连接器(9)的第二通口通过第二法兰(4)与反应腔(12)的另一端相连；所述四通连接器(9)的第三通口与外部真空计相连；所述四通连接器(9)的第四通口与外部真空系统相连；

所述第一电极(5)设置在反应腔(12)的外部，且位于第三电极(7)与反应夹具(11)之间；所述第二电极(6)设置在反应腔(12)的外部，且位于第四电极(8)与反应夹具(11)之间；所述射频发生器(2)的一端与第一电极(5)相连；所述射频发生器(2)的另一端与第二电极(6)相连。

2.根据权利要求1所述的焦耳热与等离子体协同反应器，其特征在于：所述反应夹具(11)包括陶瓷垫(13)、第一陶瓷扣(14)、第二陶瓷扣(15)、第一铜螺钉(16)、第二铜螺钉(17)、第一铜垫片(18)、第二铜垫片(19)和待反应样品(20)；所述陶瓷垫(13)的一端通过第一铜螺钉(16)与第一陶瓷扣(14)相连，并与第一陶瓷扣(14)夹持第一铜垫片(18)和待反应样品(20)的一端；所述陶瓷垫(13)的另一端通过第二铜螺钉(17)与第二陶瓷扣(15)相连，并与第二陶瓷扣(15)夹持第二铜垫片(19)和待反应样品(20)的另一端。

3.根据权利要求2所述的焦耳热与等离子体协同反应器，其特征在于：所述第一铜螺钉(16)的钉帽与第一陶瓷扣(14)处于同一端；所述第一铜螺钉(16)的钉尾穿过陶瓷垫(13)与导线相连；所述第二铜螺钉(17)的钉帽与第二陶瓷扣(15)处于同一端；所述第二铜螺钉(17)的钉尾穿过陶瓷垫(13)与导线相连。

4.根据权利要求3所述的焦耳热与等离子体协同反应器，其特征在于：所述第一陶瓷扣(14)和第二陶瓷扣(15)均为凹形结构；所述第一铜螺钉(16)的钉帽置于第一陶瓷扣(14)的凹槽内；所述第二铜螺钉(17)的钉帽置于第二陶瓷扣(15)的凹槽内。

5.根据权利要求1所述的焦耳热与等离子体协同反应器，其特征在于：所述第一电极(5)和第二电极(6)均为环状铜电极；所述第三电极(7)和第四电极(8)均为钼电极；所述反应腔(12)为石英管反应腔；所述导线为铜线。