[发明专利]一种银钯铟靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110818657.9 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113564543A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张小军;陈林玉 | 申请（专利权）人： | 昆山嘉美荣材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C5/06 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市花*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 银钯铟靶材 及其 制备 方法 | ||
1.一种银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼；
待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸，冷却后获得铸锭；
对铸锭进行轧制，获得半成品；
对半成品进行热处理；
后处理获得银钯铟靶材成品。
2.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，所述银含量为99.99%以上，所述铟和钯金的含量均为99.95%以上。
3.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，所述银、铟和钯金的投料质量比为（80.5-99.4）：（0.1-9.5）：（0.5-10）。
4.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，熔炼时，先投入一半质量的银，银熔融后投入铟，铟熔融后快速投入钯金，待钯金熔融后投入剩下的银，采用石墨搅拌直到合金全部熔融，加入木炭保温10分钟。
5.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，浇筑时采用石墨浇铸模具，浇筑前将石墨浇铸模具置于280℃恒温预热15分钟。
6.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，轧制时，将铸锭置于冷轧机平台上，轧辊开口开到铸锭厚度后下降3mm，每次轧制的延压方向一致，每次轧制均下降3mm-4mm，轧制到成品厚度基础上预留2-3mm作为加工余量。
7.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，热处理时，半成品放置于加热炉中，温度调节到400℃，保温时间为1h。
8.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，后处理包括：去头尾、铣削加工、清洗和干燥。
9.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法，其特征在于，熔炼和轧制后均需取样进行样品质量检测。
10.一种银钯铟靶材，其特征在于，采用权利要求1~9中任一项所述的银钯铟靶材的制备方法制备获得。
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