[发明专利]一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置有效
申请号: | 202110820247.8 | 申请日: | 2021-07-20 |
公开(公告)号: | CN113607643B | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
发明(设计)人: | 张帅;朱常任;魏国 | 申请(专利权)人: | 江苏拓正茂源新能源有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人: | 付钦伟 |
地址: | 221612 江苏省徐州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 石英 坩埚 检测 装置 | ||
本发明公开了一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,包括坩埚、支撑板、工作台、限位组件、固定组件、驱动组件和调整组件,所述支撑板设于工作台上,所述驱动组件下端设于工作台内,所述驱动组件上端可旋转设于工作台上,所述调整组件设于工作台上端,所述坩埚设于支撑板上,所述调整组件设于坩埚内,所述固定组件设于工作台侧壁上,所述限位组件设于工作台侧壁上,本发明属于坩埚检测技术领域,具体是指一种便于调整角度的多晶硅铸锭石英坩埚检测装置。
技术领域
本发明属于坩埚检测技术领域,具体是指一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置。
背景技术
石英坩埚是太阳能硅电池行业用来进行多晶硅铸锭的专用工艺装备,在石英坩埚的生产过程中,由于各种原因,在石英坩埚的成品中会存在有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷;如果将有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷的石英坩埚投入使用会对多晶硅铸锭的安全生产和产品质量产生严重的后果。
发明内容
为了解决上述难题,本发明提供了一种便于调整角度的多晶硅铸锭石英坩埚检测装置。
为了实现上述功能,本发明采取的技术方案如下:一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,包括坩埚、支撑板、工作台、限位组件、固定组件、驱动组件和调整组件,所述支撑板设于工作台上,所述驱动组件下端设于工作台内,所述驱动组件上端可旋转设于工作台上,所述调整组件设于工作台上端,所述坩埚设于支撑板上,所述调整组件设于坩埚内,所述固定组件设于工作台侧壁上,所述限位组件设于工作台侧壁上;所述调整组件包括铰接杆、弹簧二、伸缩杆、检测灯、弹簧一、固定板、扭簧、支撑杆和液压杆,所述液压杆固定端设于工作台上壁上,所述支撑杆设于液压杆活动端上,所述铰接杆的一端通过扭簧可旋转铰接设于支撑杆上,所述弹簧二的一端设于铰接杆内,所述伸缩杆的一端可滑动卡接设于铰接杆的另一端上,所述伸缩杆的另一端设于弹簧二的另一端上,所述检测灯设于伸缩杆的另一端上,所述固定板设于支撑杆上,所述弹簧一的一端设于固定板上,所述弹簧一的另一端设于铰接杆上;需要对坩埚进行检测时,液压杆带动支撑杆上升,支撑杆带动铰接杆和伸缩杆上升,在扭簧和弹簧一的作用下,伸缩杆的另一端贴合坩埚滑动,检测灯贴合坩埚内侧壁进行检测,驱动组件带动调整组件旋转,便于对坩埚进行360度检测,同时限位组件可对驱动组件进行固定,以便仔细观察坩埚情况。
进一步地,所述驱动组件包括旋转电机、连接轴和转盘,所述旋转电机设于工作台内底壁上,所述连接轴的一端连接设于旋转电机输出轴端上,所述转盘可旋转设于工作台上,所述转盘与连接轴的另一端相连,所述调整组件设于转盘上;需要带动调整组件旋转时,旋转电机工作带动连接轴旋转,连接轴带动转盘旋转,转盘带动调整组件旋转。
进一步地,所述转盘上设有卡槽,所述卡槽设有若干组,若干组所述卡槽等间隔均匀设于转盘上。
进一步地,所述限位组件包括限位杆、弹簧三和滑槽,所述滑槽设于工作台侧壁上,所述弹簧三的一端设于滑槽内底壁上,所述限位杆可滑动设于滑槽内,所述限位杆下端连接弹簧三的另一端设置,所述限位杆上端贯穿滑槽设于卡槽内。
进一步地,所述固定组件包括卡件、旋转件和转杆,所述转杆设于工作台侧壁上,所述旋转件的一端可旋转设于转杆上,所述卡件设于工作台侧壁上,所述旋转件的另一端可卡接设于卡件上,所述滑槽设于卡件和转杆之间;不需要使用限位杆时,旋转件设于卡件上,限位杆设于旋转件下端。
进一步地,所述伸缩杆的另一端上设有滚珠,伸缩杆通过滚珠贴合坩埚滑动。
本发明采取上述结构取得有益效果如下:本发明提供的一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置操作简单,机构紧凑,设计合理,需要对坩埚进行检测时,液压杆带动支撑杆上升,支撑杆带动铰接杆和伸缩杆上升,在扭簧和弹簧一的作用下,伸缩杆的另一端贴合坩埚滑动,检测灯贴合坩埚内侧壁进行检测,驱动组件带动调整组件旋转,便于对坩埚进行360度检测,同时限位组件可对驱动组件进行固定,以便仔细观察坩埚情况。
附图说明
图1为本发明一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置的主视图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏拓正茂源新能源有限公司,未经江苏拓正茂源新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110820247.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。