[发明专利]一种耐空蚀纳米晶高熵氮化物陶瓷涂层的制备方法

权利要求书

1.一种耐空蚀纳米晶高熵氮化物陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1，预制靶材：取商用高纯度Ti、Zr、Nb、Ta、Mo五种金属粉末，经真空热压烧结，制成靶材；

步骤2，准备基体：取工件极基体，备用；

步骤3，双阴极等离子体反应沉积技术制备涂层：以步骤1的靶材为源极、步骤2的基体为工作极，在真空条件和工作气氛下，进行双阴极等离子体反应沉积。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1中Ti、Zr、Nb、Ta、Mo五种金属粉末为等摩尔比，靶材为φ80mm×5mm的圆片。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤2中工件极基体为不锈钢或Ti-6Al-4V合金。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤3中，源极和工件极之间的极间距为10～20mm。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：步骤3中，所述工作气体为氮气和氩气的混合气体，氮气和氩气流量比为1：10；工作气体的气压为30～45Pa。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：步骤3中，所述源极的电压为850V～1000V；所述工件极的电压为300～350V。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于：步骤3中，所述双阴极等离子体反应沉积的温度范为750～900℃、时间为3～4小时。