[发明专利]忆阻器及其制备方法在审
申请号: | 202110825496.6 | 申请日: | 2021-07-21 |
公开(公告)号: | CN113555502A | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 冯雪;孟艳芳;马寅佶 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 忆阻器 及其 制备 方法 | ||
1.一种忆阻器,其特征在于,
所述忆阻器包括第一银线(1)、第二银线(2)和绝缘层(3),所述绝缘层(3)为氧化银,所述绝缘层(3)被夹在所述第一银线(1)和所述第二银线(2)之间。
2.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,
所述绝缘层(3)设置在所述第一银线(1)和所述第二银线(2)的其中一者的周面上。
3.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,
所述绝缘层(3)设置在所述第一银线(1)和所述第二银线(2)的交叉位置处。
4.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,
所述第一银线(1)和所述第二银线(2)的周面上都设置有所述绝缘层(3)。
5.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,
所述忆阻器包括多根所述第一银线(1)和多根所述第二银线(2),多根所述第一银线(1)和多根所述第二银线(2)被设置成横纵编织的忆阻器阵列。
6.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,
所述第一银线(1)和所述第二银线(2)的长度为3~5厘米,直径为10~20微米。
7.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,
所述绝缘层(3)的厚度为80~200纳米。
8.一种忆阻器的制备方法,其特征在于,所述忆阻器为权利要求1至7中任一项所述的忆阻器,所述忆阻器的制备方法包括:
提供所述第一银线(1)和所述第二银线(2);
对所述第一银线(1)和/或所述第二银线(2)进行表面处理,得到所述绝缘层(3);以及
将所述第一银线(1)和所述第二银线(2)叠放,形成依次排列的所述第一银线(1)、所述绝缘层(3)、所述第二银线(2)结构。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,
所述第一银线(1)和/或所述第二银线(2)进行表面处理的方法为等离子体表面处理或紫外臭氧表面处理。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,
在所述等离子体表面处理的过程中,用到的氧气的流量被控制在30~90标准毫升/分钟,等离子体设备的功率被控制在50~200瓦,等离子体表面处理时间被控制在1~3秒,
在所述紫外臭氧表面处理的过程中,臭氧设备的功率被控制在50~200瓦,紫外臭氧表面处理的时间被控制在20~40分钟。
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