[发明专利]一种溅射镀膜机薄壁防护罩用高粗糙度防护涂层及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110828749.5 申请日: 2021-07-22
公开(公告)号: CN113549858A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 吕孝永;张科;吴荣祯 申请(专利权)人: 福建阿石创新材料股份有限公司
主分类号: C23C4/06 分类号: C23C4/06;C23C4/08;C23C4/02;C23C4/131
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 赵琪
地址: 350200 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 溅射 镀膜 薄壁 防护罩 粗糙 防护 涂层 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种溅射镀膜机薄壁防护罩用高粗糙度防护涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

对防护罩基材进行表面喷砂处理;

在所述表面喷砂处理后的基材的表面依次热喷涂打底层涂层和面层涂层,得到所述溅射镀膜机薄壁防护罩用高粗糙度防护涂层,所述打底层涂层的粗糙度为Ra6~14μm,所述面层涂层的粗糙度为Ra15~35μm,所述打底层涂层和面层涂层的材质独立地为纯铝、纯铜、铝合金或铜合金。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面喷砂处理使用白刚玉或棕刚玉砂。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述白刚玉和棕刚玉砂的粒径独立地为46~200目。

4.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述表面喷砂处理的压缩空气的压力为0.3~1.0MPa。

5.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述表面喷砂处理后的基材的粗糙度为Ra2~5μm。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述热喷涂过程中,所述表面喷砂处理后的基材的温度控制范围为室温~100℃。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述防护罩基材进行表面喷砂处理前还包括去除旧涂层,所述去除旧涂层为喷砂、打磨或采用氢氧化钠溶液浸泡,所述氢氧化钠溶液的浓度为5~52wt.%。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述防护罩基材的厚度为1~3mm。

9.权利要求1~8任一项所述制备方法制得的溅射镀膜机薄壁防护罩用高粗糙度防护涂层,其特征在于,包括依次层叠的打底层涂层和面层涂层,所述打底层涂层的粗糙度为Ra6~14μm,所述面层涂层的粗糙度为Ra15~35μm,所述打底层涂层和面层涂层的材质独立地为纯铝、纯铜、铝合金或铜合金。

10.根据权利要求9所述的溅射镀膜机薄壁防护罩用高粗糙度防护涂层,其特征在于,所述溅射镀膜机薄壁防护罩用高粗糙度防护涂层的厚度为150~250μm。

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