[发明专利]一种高功率激光功率计标定方法及标定装置

权利要求书

1.一种高功率激光功率计标定方法，其特征在于：同时将两束以上相同功率的低功率激光合束叠加在标准功率计或被标定的功率计上，实现对被标定的功率计的标定；低功率激光中其中一束为中心激光束、其余为周边激光束，合束叠加后的周边激光束与中心激光束之间的夹角小于5°。

2.如权利要求1所述的高功率激光功率计标定方法，其特征在于：所有低功率激光均依次经过扩束镜和偏振片后，再合束叠加在标准功率计或被标定的功率计上。

3.如权利要求2所述的高功率激光功率计标定方法，其特征在于：包括顺序相接的如下步骤：

1)在每束低功率激光依次经过扩束镜和偏振片后，利用激光采样器采样，并利用激光采样功率计测量所采样品的功率，各低功率激光在时间t的功率读数分别为I1(t)、I2(t)、I3(t)……，各低功率激光在时间t的功率总和Is(t)也是时间的函数，Is(t)＝I1(t)+I2(t)+I3(t)+……；

2)将所有低功率激光合束叠加在标准功率计上，标准功率计在时间t的读数为Ia(t)；各个激光采样功率计和标准功率计需要同时采集读数，通过不同时间的读数，建立起Ia(t)与Is(t)之间一一对应的函数关系；

3)将所有低功率激光合束叠加在被标定的功率计上，同时采集各个激光采样功率计在时间t的读数总和Is(t)以及被标定的功率计上的读数Ia’(t)，以Is(t)为桥梁，通过步骤2)得到的Ia(t)与Is(t)之间一一对应的函数关系，可得到Ia’(t)对应的Ia(t)，从而实现标定。

4.如权利要求1-3任意一项所述的高功率激光功率计标定方法，其特征在于：每个激光采样器的下游都设有反射式光阀和光吸收器，反射式光阀可将其对应的激光反射至光吸收器。

5.如权利要求5所述的高功率激光功率计标定方法，其特征在于：反射式光阀和反射镜之间设有合束器，合束器的光路与其对应的低功率激光的光路重合，以指示其对应的低功率激光在标准功率计和被标定的功率计上的位置，从而确定标准功率计和被标定的功率计的位置。

6.如权利要求1-3任意一项所述的高功率激光功率计标定方法，其特征在于：周边激光束与中心激光束之间的夹角小于1.5°，所有低功率激光合束叠加后在标准功率计和被标定的功率计表面产生的光斑，与只有中心激光束时的光斑重合度大于95％；中心激光束与标准功率计和被标定的功率计的表面均垂直。

7.一种高功率激光功率计标定装置，其特征在于：包括标准功率计、待标定的功率计和低功率激光光路；

低功率激光光路有两条以上，其中一条低功率激光光路为中心激光光路、其余为周边激光光路，所有的低功率激光光路均合束叠加在标准功率计或待标定的功率计上，合束叠加后，周边激光束与中心激光束之间的夹角小于5°。

8.如权利要求7所述的高功率激光功率计标定装置，其特征在于：所有的低功率激光光路结构均相同，沿光路的传播方向，每条低功率激光光路均包括依次相接的激光器、扩束镜、偏振片和反射镜。

9.如权利要求8所述的高功率激光功率计标定装置，其特征在于：每条低功率激光光路上均设有激光采样器和激光采样功率计，激光采样器设在偏振片反射镜之间，激光采样功率计用于测量激光采样器所采样品的功率；每个激光采样器和反射镜之间都设有反射式光阀和光吸收器，反射式光阀可其对应的光路反射至光吸收器。

10.如权利要求9所述的高功率激光功率计标定装置，其特征在于：反射式光阀和反射镜之间设有合束器，合束器的光路与其对应的低功率激光的光路重合，以指示其对应的低功率激光在标准功率计和被标定的功率计上的位置，从而确定标准功率计和被标定的功率计的位置；合束叠加后，周边激光束与中心激光束之间的夹角小于1.5°。