[发明专利]一种微动台及运动装置

权利要求书

1.一种微动台，其特征在于，包括：

安装基座(5)；

垂向驱动装置(4)，安装于所述安装基座(5)上；

垂向底座(3)，套设在所述垂向驱动装置(4)的外侧，所述垂向驱动装置(4)的驱动端驱动所述垂向底座(3)相对所述安装基座(5)沿Z方向运动；

旋转座(2)，可绕所述Z方向旋转地套设在所述垂向底座(3)上，且在所述Z方向上的位置相对所述垂向底座(3)不变；

旋转驱动电机(1)，套设在所述旋转座(2)的侧面，用于驱动所述旋转座(2)绕所述Z方向转动，所述旋转驱动电机(1)包括同轴间隔套设的旋转电机动子(11)和旋转电机定子(12)，所述旋转电机动子(11)相对所述旋转座(2)固定，所述旋转电机定子(12)相对所述安装基座(5)固定。

2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述垂向底座(3)包括同轴间隔套设且相连的转接筒部(31)和滑套部(32)，所述旋转座(2)包括同轴间隔套设且相连的内筒部(21)和外筒部(22)，所述转接筒部(31)套设在所述垂向驱动装置(4)的外侧，所述内筒部(21)Z向延伸入所述转接筒部(31)和所述滑套部(32)之间并与所述转接筒部(31)转动连接，所述外筒部(22)位于所述垂向底座(3)的外侧并固连有所述旋转电机动子(11)，所述滑套部(32)与所述安装基座(5)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述旋转电机动子(11)固定套设在所述旋转座(2)的外侧壁上，所述垂向底座(3)位于所述旋转电机动子(11)的内侧，所述旋转电机定子(12)间隔套设在所述旋转电机动子(11)的外侧。

4.根据权利要求3所述的微动台，其特征在于，所述微动台还包括挡板(6)，所述挡板(6)与所述旋转座(2)或所述安装基座(5)连接，所述挡板(6)设置于所述旋转电机定子(12)的上方，且所述旋转电机定子(12)在XY平面上的投影位于所述挡板(6)在所述XY平面上的投影范围内。

5.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述安装基座(5)包括底板部(51)和垂直设置于所述底板部(51)上的导向套部(52)，所述垂向驱动装置(4)安装于所述底板部(51)上，所述垂向底座(3)位于所述导向套部(52)的内侧并与所述导向套部(52)滑动连接，所述旋转驱动电机(1)套设于所述导向套部(52)的外部。

6.根据权利要求5所述的微动台，其特征在于，所述安装基座(5)还包括竖直设置于所述底板部(51)上的安装筒(53)，所述安装筒(53)套设于所述旋转驱动电机(1)的外侧且下端与所述底板部(51)连接，所述旋转电机定子(12)安装于所述安装筒(53)的内侧壁。

7.根据权利要求6所述的微动台，其特征在于，所述安装筒(53)与所述底板部(51)可拆卸连接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的微动台，其特征在于，所述旋转电机动子(11)在所述Z方向的高度与所述旋转电机定子(12)在所述Z方向上的高度差的绝对值大于等于所述旋转座(2)沿所述Z方向的最大需求行程。

9.根据权利要求1-7任一项所述的微动台，其特征在于，所述垂向驱动装置(4)包括音圈电机组件(41)和重力补偿组件(42)，所述音圈电机组件(41)用于驱动所述旋转座(2)沿所述Z方向运动，所述重力补偿组件(42)用于补偿所述旋转座(2)的重力。

10.根据权利要求9所述的微动台，其特征在于，所述音圈电机组件(41)包括音圈电机定子(412)和音圈电机动子(411)，所述重力补偿组件(42)包括磁浮定子(421)和磁浮动子(422)，所述音圈电机定子(412)与所述磁浮定子(421)均相对所述安装基座(5)固定，所述磁浮动子(422)和所述音圈电机动子(411)均相对所述垂向底座(3)固定。