[发明专利]洗涤液组合物及使用其的洗涤方法在审

专利信息
申请号: 202110832189.0 申请日: 2021-07-22
公开(公告)号: CN113969215A 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 朴健熙;郑用昊;郑敬振;尹永镐 申请(专利权)人: 凯斯科技股份有限公司
主分类号: C11D1/14 分类号: C11D1/14;C11D1/22;C11D1/34;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/34;C11D3/36;C11D3/37;C11D3/60;C09K13/10;C09K13/08;C09K13/00;H01L21/02
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 曲在丹
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 洗涤液 组合 使用 洗涤 方法
【权利要求书】:

1.一种洗涤液组合物,其特征在于,

包括:

螯合剂,其包括第一有机酸及第二有机酸;以及

蚀刻剂,其包括氟化物化合物。

2.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述第一有机酸包括羧基或砜基,

所述第二有机酸包括磷酸基。

3.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述第一有机酸的含量为1重量%至10重量%,

所述第二有机酸的含量为0.01重量%至5重量%。

4.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述第一有机酸包括从由苹果酸、丙二酸、己二酸、琥珀酸、酒石酸、戊二酸、乙醇酸、天冬氨酸、衣康酸、谷氨酸、丙三羧酸、庚二酸、辛二酸、癸二酸、硬脂酸、丙酮酸、乙酰乙酸、乙醛酸、壬二酸、富马酸、戊烯二酸、创伤酸、粘康酸、乌头酸、丙三羧酸(carballylic acid)、三元酸、苯六甲酸、异柠檬酸、柠檬酸、乳酸、葡萄糖酸、马来酸、抗坏血酸、亚氨基乙酸、草酸、焦性没食子酸、甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、己酸、庚酸、辛酸、壬酸、癸酸、十一酸、月桂酸、十三酸、肉豆蔻酸、十五酸、棕榈酸、氨基磺酸、水杨酸、对甲苯磺酸、聚苯乙烯磺酸、2-萘磺酸、聚乙烯磺酸、十二烷基苯磺酸、对羟基苯磺酸、甲基磺酸及硝基苯磺酸组成的组中选择的一种以上。

5.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述第二有机酸包括从由亚乙基二膦酸、1-羟基亚乙基-1,1'-二膦酸(HEDP)、1-羟基亚丙基-1,1'-二膦酸、1-羟基丁烯基-1,1'-二膦酸、乙氨基双(亚甲基膦酸)、十二烷基氨基双(亚甲基膦酸)、2-膦酰基-丁烷-1,2,4-三羧酸(PBTC)、次氨基三(亚甲基膦酸)(NTPO)、乙二胺双(亚甲基膦酸)(EDDPO)、1,3-丙二胺双(亚甲基膦酸)、乙二胺四(亚甲基膦酸)(EDTPO)、乙二胺四(亚乙基膦酸)、1,3-丙二胺四(亚甲基膦酸)(PDTMP)、1,2-二氨基丙烷四(亚甲基膦酸)、1,6-己二胺四(亚甲基膦酸)、己烯二胺四(亚甲基膦酸)、二乙烯三胺五(亚甲基膦酸)(DEPPO)、二乙烯三胺五亚(diethylenetriaminepentakis)(甲基膦酸)、N,N,N',N'-乙二胺四(亚甲基膦酸)、二乙烯三胺五(亚乙基膦酸)、三乙烯四胺六(亚甲基膦酸)及三乙烯四胺六(亚乙基膦酸)组成的组中选择的一种以上。

6.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述氟化物化合物包括从由氟化氢铵、氟化铵、氟化钠、氟化钡、氟化钙、氟化镁、氟化钾、氟化铝、三氟化氨基苯甲酸酯、三氟化硼及氟化钴组成的组中选择的一种以上。

7.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述蚀刻剂的含量为0.1重量%至15重量%。

8.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

还包括:

阴离子表面活性剂,其包括磺酸盐或磷酸盐,

所述阴离子表面活性剂的含量为0.01重量%至10重量%。

9.根据权利要求8所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述磺酸盐包括从由烷基芳基磺酸盐、烷基醚磺酸盐、烷基磺酸盐、芳基磺酸盐、聚苯乙烯磺酸盐、烷烃磺酸盐、α-烯烃磺酸盐、十二烷基苯磺酸盐及烷基苯磺酸盐组成的组中选择的一种以上。

10.根据权利要求8所述的洗涤液组合物,其特征在于,

所述磷酸盐包括从由烷基芳基磷酸盐、烷基醚磷酸盐、芳基醚磷酸盐、烷基磷酸盐、芳基磷酸盐及苯磷酸盐组成的组中选择的一种以上。

11.根据权利要求1所述的洗涤液组合物,其特征在于,

还包括:

pH调节剂,

所述pH调节剂包括烷醇胺、氢氧化胺或两者。

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