[发明专利]超声辅助振动加工方法在审
| 申请号： | 202110835731.8 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113579316A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 滕翔宇;杜泽东;陈万群;霍德鸿;丁辉 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/00 | 分类号： | B23C3/00;B23C9/00 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声 辅助 振动 加工 方法 | ||
1.一种超声辅助振动加工方法，用以对工件进行加工，其特征在于：所述超声辅助振动加工方法包括如下步骤：
S1：提供机床，安装超声振动辅助加工装置；
S2：固定工件在机床主轴上，进行打表，将主轴与工件的回转轴线调整到重合；
S3：在所述机床上安装金刚石刀具，对工件光平面；
S4：将金刚石刀具更换为成型刀，调整所述成型刀的位置，进行对刀；
S5：获取成型刀零点位置；
S6：编制程序用成型刀进行试切，对试切结构进行检测，计算编制程序与实际检测结果的差值；
S7：对步骤S6中的差值进行补偿，启动超声振动辅助加工装置，重新编制程序对工件进行刻划；
S8：完成加工，取下工件。
2.根据权利要求1所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S2中打表时，将所述机床的千分表表针跳动调至小于5um，转动惯量调至小于5nm。
3.根据权利要求1所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S4中的成型刀具根据工件加工不同的微阵列结构进行设计制作。
4.根据权利要求1所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S4中，调整所述成型刀的位置的方式为：利用机床上的相机的十字光标线，调整所述成型刀的位置。
5.根据权利要求1所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S5中，获取成型刀的零点位置的方式为：控制成型刀接近工件，当成型刀接触到工件产生切削时，记录成型刀的零点位置。
6.根据权利要求5所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S5中，当成型刀接近工件时，控制成型刀以0.01um步距进给。
7.根据权利要求1所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S6中编制程序使用Zygo。
8.根据权利要求1所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S7中，对工件刻划时，所述成型刀具的切削速度为300mm/min，快速移刀速度为500mm/min。
9.根据权利要求8所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：步骤S7中，刻划最后一刀精加工的切深为0.001mm。
10.根据权利要求1所述的超声辅助振动加工方法，其特征在于：所述超声辅助振动加工方法还包括位于步骤S8后的步骤S9：送检。
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