[发明专利]一种测试超低背景散射的弱光探测系统在审

专利信息
申请号: 202110836136.6 申请日: 2021-07-23
公开(公告)号: CN113551877A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 马冬林;范子超;赵璐佳 申请(专利权)人: 深圳华中科技大学研究院
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00;G01J1/42;G01J1/04
代理公司: 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 代理人: 龙涛
地址: 518000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 测试 背景 散射 弱光 探测 系统
【权利要求书】:

1.一种测试超低背景散射的弱光探测系统,其特征在于,包括:光源模块、参考光束模块、分束镜模块、4f系统模块和探测器模块;所述光源模块发出的光经过分束镜模块分成两束,一束光经过所述参考光束模块进入所述探测器模块,另一束光射到待探测系统产生杂散射光,杂散射光再经过所述分束镜模块和所述4f系统模块进入所述探测器模块。

2.根据权利要求1所述的一种测试超低背景散射的弱光探测系统,其特征在于,所述光源模块包括光源装置和光束处理装置,所述光源装置发出的光进入所述光束处理装置进行整形和准直。

3.根据权利要求1所述的一种测试超低背景散射的弱光探测系统,其特征在于,所述参考光束模块包括光衰减片、声光调制器和反射镜;经所述分束镜模块分成的一束光依次通过所述光衰减片、所述声光调制器后,由所述反射镜反射至所述探测器模块。

4.根据权利要求1所述的一种测试超低背景散射的弱光探测系统,其特征在于,所述分束镜模块包括分束镜一和分束镜二;所述分束镜一将光分成两束,一束进入所述参考光束模块,另一束经所述分束镜二射到待测系统,得到杂散射光,杂散射光再经所述分束镜二进入所述4f系统模块。

5.根据权利要求1所述的一种测试超低背景散射的弱光探测系统,其特征在于,所述4f系统模块包括聚光透镜一、光阑一和聚光透视镜二;杂散射光经过所述聚光透视镜一和所述光阑一折射到所述聚光透视镜二上,在所述聚光透镜一和所述聚光透镜二之间设置所述光阑一,所述光阑一对杂散射光外围部分遮拦,杂散射光经过所述聚光透镜二进入所述探测器模块。

6.根据权利要求1所述的一种测试超低背景散射的弱光探测系统,其特征在于,所述探测器模块包括透镜、光阑二和探测器装置;所述透镜将所述参考光束模块入射来的参考光反射,参考光穿过所述透镜和所述光阑二后进入所述探测器装置;待测系统的杂散射光经过所述透镜穿过所述光阑二后进入所述探测器装置。

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