[发明专利]一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器

权利要求书

1.一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，包括底板、弹性体、硅基MEMES压力传感器单元、磁体、磁感应线圈阵列；弹性体、硅基MEMES压力传感器单元与磁感应线圈阵列设置于底板；磁体设置于弹性体中；硅基MEMES压力传感器单元用于输出法向压力电信号；磁感应线圈阵列输出切向压力电信号；

当弹性体受到压力时产生形变，一方面硅基MEMES压力传感器单元检测压力大小，另一方面弹性体带动磁体运动，从而产生空间磁场的变化，磁感应线圈阵列通过电磁感应产生电信号。

2.根据权利要求1所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述弹性体设置于底板表面且覆盖于硅基MEMES压力传感器单元表面。

3.根据权利要求1所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述底板包括印制板与硬质基板；弹性体、硅基MEMES压力传感器单元与磁感应线圈阵列设置于印制板一侧，硬质基板设置于印制板另一侧。

4.根据权利要求3所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述印制板包括依次设置的轻掺杂层、重掺杂层、硅基底与填隙环。

5.根据权利要求3所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述硬质基板为纤维增强的聚酯复合材料。

6.根据权利要求1所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述弹性体、硅基MEMES压力传感器单元与磁感应线圈阵列与底板通过双组份胶粘接固定。

7.根据权利要求1所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述硅基MEMES压力传感器单元包括第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻；第一电阻第一端、第四电阻第一端接硅基MEMES压力传感器单元的第一电压信号输入端；第二电阻第二端、第三电阻第二端接硅基MEMES压力传感器单元的第二电压信号输入端；第一电阻第二端、第二电阻第一端接硅基MEMES压力传感器单元第一输出端；第四电阻第二端、第三电阻第一端接硅基MEMES压力传感器单元第二输出端。

8.根据权利要求1所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述弹性体为橡胶材质。

9.根据权利要求1所述一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，其特征在于，所述磁体为永磁铁。