[发明专利]基板翻转搬送装置及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板翻转搬送装置，其特征在于，包括：

夹持机构，用于夹持基板；

移动机构，驱使所述夹持机构在与所述基板接触的接触位置与离开所述基板的退避位置之间进退；

反转机构，包括旋转轴和旋转连接机构，所述旋转连接机构的一端与所述夹持机构连接，所述旋转连接机构的另一端与所述旋转轴连接，通过所述旋转连接机构带动所述夹持机构绕所述旋转轴旋转，以使所述基板反转并使所述基板的中心轴线从第一位置运动到第二位置。

2.根据权利要求1所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述旋转连接机构包括连接臂和伸缩组件，所述连接臂和所述伸缩组件连接，通过所述伸缩组件调节所述连接臂的长度，以使所述基板搬运到预设位置。

3.根据权利要求1所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述反转机构还包括驱动机构，所述驱动机构驱动所述旋转连接机构和所述旋转轴中的至少一个旋转，以使所述旋转连接机构带动所述夹持机构绕所述旋转轴旋转。

4.根据权利要求1所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述夹持机构包括第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件相对夹持于所述基板的周缘部；

所述旋转连接机构包括第一旋转连接组件和第二旋转连接组件，所述旋转轴的一端部与该端部同侧设置的所述第一旋转连接组件活动连接，所述旋转轴的另一端部与该端部同侧设置的所述第二旋转连接组件活动连接，所述第一旋转连接组件与所述第一夹持组件连接，所述第二旋转连接组件与所述第二夹持组件连接，所述第一旋转连接组件和所述第二旋转连接组件分别带动所述第一夹持组件和所述第二夹持组件绕所述旋转轴同步旋转。

5.根据权利要求4所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件均包括固定组件，所述固定组件包括下导向件固定组件、上导向件固定组件和固定支撑件，所述下导向件固定组件和所述上导向件固定组件分别与所述固定支撑件活动连接，所述第一夹持组件的固定支撑件与所述第一旋转连接组件连接固定，所述第二夹持组件的固定支撑件与所述第二旋转连接组件连接固定。

6.根据权利要求5所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件均包括：

若干下导向件，与所述基板的周缘部接触并从下方支撑所述基板，所述若干下导向件固定设置于所述下导向件固定组件；

若干上导向件，与所述基板的周缘部接触并与所述下导向件夹持所述基板，所述若干上导向件固定设置于所述上导向件固定组件。

7.根据权利要求6所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述移动机构包括第一夹爪组件、第二夹爪组件、第三夹爪组件和第四夹爪组件；

所述第一夹爪组件与所述第一夹持组件中的所述下导向件固定组件连接，以控制所述第一夹持组件中的所述下导向件在所述接触位置与所述退避位置之间进退；

所述第二夹爪组件与所述第一夹持组件中的所述上导向件固定组件连接，以控制所述第一夹持组件中的所述上导向件在所述接触位置与所述退避位置之间进退；

所述第三夹爪组件与所述第二夹持组件中的所述下导向件固定组件连接，以控制所述第二夹持组件中的所述下导向件在所述接触位置与所述退避位置之间进退；

所述第四夹爪组件与所述第二夹持组件中的所述上导向件固定组件连接，以控制所述第二夹持组件中的所述上导向件在所述接触位置与所述退避位置之间进退。

8.根据权利要求6所述的基板翻转搬送装置，其特征在于，所述夹持机构还包括切换机构，所述切换机构与所述下导向件固定组件和所述上导向件固定组件中的至少一个连接，使所述下导向件固定组件和所述上导向件固定组件相对滑动以改变所述下导向件和所述上导向件与所述基板的接触状态；

所述下导向件包括通过所述切换机构进行切换而选择性地与所述基板接触的第一下接触区域和第二下接触区域；

所述上导向件包括通过所述切换机构进行切换而选择性地与所述基板接触的第一上接触区域以及第二上接触区域。