[发明专利]键合头系统及键合机在审
申请号: | 202110841739.5 | 申请日: | 2021-07-26 |
公开(公告)号: | CN113539906A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 常亮;李岗;孙彬;徐品烈;种宝春;张彩山 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L23/00;B23K20/10 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 严小艳 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 键合头 系统 键合机 | ||
1.一种键合头系统,所述键合头系统包括超声波发生构件和连接于所述超声波发生构件的输出端的劈刀,其特征在于,所述劈刀被设置为沿着竖直方向延伸,所述键合头系统还包括:
下连杆;
上连杆,与所述下连杆间隔设置,被设置为与所述超声波发生构件同步运动;
第一侧连杆和第二侧连杆,所述第一侧连杆和所述第二侧连杆二者中任一者的两端分别与所述上连杆和所述下连杆铰接;
驱动构件,用于驱动所述超声波发生构件下降。
2.根据权利要求1所述的键合头系统,其特征在于,所述上连杆、所述下连杆、所述第一侧连杆和所述第二侧连杆共同围设成平行四边形;所述键合头系统还包括:
键合头动座,与所述超声波发生构件和所述上连杆连接;
键合头定座,与所述驱动构件和所述下连杆连接;
弹性构件,包括与所述键合头动座连接的第一部分和与所述键合头定座连接的第二部分。
3.根据权利要求2所述的键合头系统,其特征在于,
所述键合头动座形成有第一缺欠部,所述弹性构件包括在所述第一部分和所述第二部分之间延伸的第三部分,所述第三部分贯穿所述第一缺欠部,所述第二部分连接于所述键合头动座的上端面。
4.根据权利要求2所述的键合头系统,其特征在于,
所述键合头定座形成有第二缺欠部,所述第二部分的部分悬设于所述第二缺欠部的上方或者所述第二缺欠部内。
5.根据权利要求2所述的键合头系统,其特征在于,所述键合头定座还包括:
横向构件,所述驱动构件设置于所述横向构件;
支撑构件,可拆卸地安装于所述横向构件,所述第二部分的部分被限定于所述横向构件和所述支撑构件之间。
6.根据权利要求5所述的键合头系统,其特征在于,
所述键合头定座还包括与所述横向构件连接的纵向构件,所述键合头系统还包括设置于所述纵向构件的第一触点构件以及设置于所述键合头动座的第二触点构件;
在所述键合头系统未工作的状态下,定义所述第一触点构件和所述第二触点构件二者的相对位置状态为第一相对位置状态;
所述第一触点构件和所述第二触点构件二者被设置为自所述第一相对位置状态转换为不同于所述第一相对位置状态的第二相对位置状态,以使所述驱动构件和所述超声波发生构件二者工作。
7.根据权利要求6所述的键合头系统,其特征在于,
所述第一相对位置状态被设置为所述第一触点构件和所述第二触点构件二者彼此分离,所述第一触点构件位于所述第二触点构件的上方,所述第二相对位置状态被设置为所述第一触点构件和所述第二触点构件彼此接触;或者
所述第一相对位置状态被设置为所述第一触点构件和所述第二触点构件二者彼此接触,所述第一触点构件位于所述第二触点构件的下方,所述第二相对位置状态被设置为所述第一触点构件和所述第二触点构件彼此分离。
8.根据权利要求6所述的键合头系统,其特征在于,所述键合头系统还包括:
送线机构和劈刀加热机构,二者均与所述键合头动座连接,在所述第一触点构件和所述第二触点构件二者自所述第一相对位置状态转换为所述第二相对位置状态时,所述送线机构和所述劈刀加热机构工作。
9.根据权利要求6所述的键合头系统,其特征在于,所述键合头系统还包括:
手柄和导向构件,所述导向构件沿着竖直方向延伸并与所述纵向构件配合,所述手柄与所述纵向构件连接;
感应构件和检测构件,二者分别设置于所述键合头动座和所述横向构件二者中的第一者和第二者,在所述键合头系统未工作的状态下,所述感应构件和检测构件二者彼此交错设置,在所述超声波发生构件下降的状态下,所述检测构件被设置为被所述感应构件所感应;
彼此电连接的提示构件和控制机构,所述控制机构与所述感应构件彼此电连接。
10.一种键合机,其特征在于,所述键合机包括如权利要求1至9中任一项所述的键合头系统。
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