[发明专利]压缩气体水分析出器及带有该水分析出器的研磨抛光设备

权利要求书

1.一种压缩气体水分析出器，用于压缩气体中水分的析出，其特征在于：包括中空的外管体与内管体，所述内管体套设在所述外管体内，且所述内管体底端位于所述外管体底端的上方，并在所述内管体的内部形成出气通道，在所述内管体与所述外管体之间形成进气通道；

在所述外管体与所述内管体的顶端安装第一变径连接头，以封口所述进气通道的顶端；所述第一变径连接头具有出气口，所述出气口与所述出气通道连通；

在所述外管体顶端侧壁处设有进气口，所述进气口与所述进气通道连通；

在所述外管体内部安装气液分离器，所述气液分离器位于所述进气口的下方；

所述外管体底端封口，并开设排水口；

所述气液分离器为水分析出环，所述水分析出环套设在所述内管体上，且所述水分析出环的外壁与所述外管体的内壁贴合；

在所述水分析出环上开设若干斜向贯通孔，所述斜向贯通孔呈漩涡状均布在所述水分析出环的周向，并以内管体的中心为漩涡中心点。

2.根据权利要求1所述的压缩气体水分析出器，其特征在于：

在所述排水口处安装流体控制阀。

3.根据权利要求2所述的压缩气体水分析出器，其特征在于：

在所述外管体上安装非接触式液面传感器，所述非接触式液面传感器位于所述内管体下方，且位于所述排水口上方；所述非接触式液面传感器与所述流体控制阀电连接。

4.根据权利要求1所述的压缩气体水分析出器，其特征在于：

所述外管体分为上部外管体和下部外管体，所述上部外管体和下部外管体间通过三通连接头连接，所述三通连接头的第三接口端为进气口。

5.根据权利要求4所述的压缩气体水分析出器，其特征在于：

所述三通连接头包括第一接口端、与所述第一接口端相平行的第二接口端、以及与所述第一接口端和所述第二接口端相垂直的第三接口端，所述第一接口端与所述上部外管体底端连通，所述第二接口端与所述下部外管体顶端连通。

6.根据权利要求1所述的压缩气体水分析出器，其特征在于：

在所述外管体底端安装第二变径连接头，所述第二变径连接头的底端具有出水口，所述出水口与所述外管体底端的排水口连通。

7.一种研磨抛光设备，其特征在于，包括如权利要求1至6任一项所述的压缩气体水分析出器。