[发明专利]利用双线条相机的断层摄影检查装置和方法

权利要求书

1.一种断层摄影检查装置(20)，其特征在于，包括：

光源(22)，其产生入射至样品(5)的内部的测量光(L)；

光束分束器(23)，其将所述测量光(L)分割为基准光(R)和样品测量光(SL)，并将基准光(R)照射至基准部(24)的基准镜，将样品测量光(SL)照射至样品(5)，并且使从基准镜反射的基准反射光(R1)和从样品(5)反射的信号反射光(S)重叠以生成干涉光(I)；

扫描镜(25)，其将由所述光束分束器(23)分割的样品测量光(SL)依次引导至样品(5)上的多个检查位置；以及

检测部(26)，其依次检测从所述多个检查位置反射的信号反射光(S)重叠的多个干涉光(I)，以获得样品(5)的内部影像信号，

所述检测部(26)包括：

光束分束器(55)，其将由光束分束器(23)生成的多个干涉光(I)分割为第一干涉光和第二干涉光；

第一线条相机(41)，其以检测多个第一干涉光中的第奇数个干涉光的方式检测所分割的第一干涉光；以及

第二线条相机(42)，其以检测多个第二干涉光中的第偶数个干涉光的方式检测所分割的第二干涉光。

2.根据权利要求1所述的断层摄影检查装置(20)，其特征在于，

还包括控制及影像处理部(50)，其组合由所述第一线条相机(41)检测的第奇数个干涉光和由第二线条相机(42)检测的第偶数个干涉光，以获得所述多个检查位置的内部影像信号。

3.根据权利要求2所述的断层摄影检查装置(20)，其特征在于，

所述控制及影像处理部(50)驱动扫描镜(25)以依次生成从多个检查位置反射的信号反射光(S)重叠的多个干涉光(I)，并基于所述扫描镜(25)的驱动向所述第一线条相机(41)和所述第二线条相机(42)交替地施加摄影触发信号，以使第奇数个干涉光被第一线条相机(41)检测，使第偶数个干涉光被第二线条相机(42)检测。

4.根据权利要求1所述的断层摄影检查装置(20)，其特征在于，

当由所述第一线条相机(41)获得的干涉光的信号强度与由第二线条相机(42)获得的干涉光的信号强度不同时，通过改变第一线条相机(41)或第二线条相机(42)的数字增益来将信号的强度调整为均匀。

5.一种断层摄影检查方法，其特征在于，包括：

产生入射至样品(5)的内部的测量光(L)的步骤；

将所述测量光(L)分割为基准光(R)和样品测量光(SL)，并将基准光(R)照射至基准部(24)的基准镜，将样品测量光(SL)照射至样品(5)的步骤；

将所述样品测量光(SL)依次引导至样品(5)上的多个检查位置的步骤；

使从所述基准镜反射的基准反射光(R1)和从样品(5)反射的信号反射光(S)重叠以生成与所述多个检查位置相应的多个干涉光(I)的步骤；

将所述多个干涉光(I)分割为第一干涉光和第二干涉光的步骤；

以检测多个第一干涉光中的第奇数个干涉光的方式检测所分割的所述第一干涉光，并且以检测多个第二干涉光中的第偶数个干涉光的方式检测所分割的所述第二干涉光的步骤；以及

组合所述第一干涉光中的第奇数个干涉光和所述第二干涉光中的第偶数个干涉光，以获得所述多个检查位置的内部影像信号的步骤。