[发明专利]一种功率器件覆铜陶瓷衬板结构及其封装方法在审
申请号: | 202110849006.6 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113725190A | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 杨金龙;姚晨阳;王豹子;柴駪;黄全全;杨腾飞;谢龙飞;王立;藏传龙;姚二现 | 申请(专利权)人: | 南瑞联研半导体有限责任公司;国网山西省电力公司检修分公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/15;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 211100 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 器件 陶瓷 板结 及其 封装 方法 | ||
1.一种功率器件覆铜陶瓷衬板结构,其特征是,包括:两块覆铜陶瓷衬板(1),所述覆铜陶瓷衬板(1)包括:
氧化铝陶瓷层(11),所述氧化铝陶瓷层(11)的边缘位置沿线型设置有多个邮票孔(12),
正面覆铜金属层(13),所述正面覆铜金属层(13)通过刻蚀形成电路图形,
背面覆铜金属层(14),
所述正面覆铜金属层(13)及背面覆铜金属层(14)与氧化铝陶瓷层(11)通过直接结合的方式连接;
两块覆铜陶瓷衬板(1)中的氧化铝陶瓷层(11)通过邮票孔(12)连接在一起,组成第一覆铜陶瓷衬板封装体(6)。
2.根据权利要求1所述的功率器件覆铜陶瓷衬板结构,其特征是,所述氧化铝陶瓷层(11)为高导热氧化铝,厚度范围0.25mm~0.45mm。
3.根据权利要求1所述的功率器件覆铜陶瓷衬板结构,其特征是,所述正面覆铜金属层(13)的厚度为0.25mm~0.35mm。
4.根据权利要求1所述的功率器件覆铜陶瓷衬板结构,其特征是,所述背面覆铜金属层(14)厚度为0.25~0.35mm,且所述背面金属覆铜金属层的厚度小于等于正面覆铜金属层(13)的厚度。
5.根据权利要求1所述的功率器件覆铜陶瓷衬板结构,其特征是,多个所述邮票孔(12)的直径均为0.5mm~1.0mm,邮票孔(12)之间的间距为2.0mm~2.5mm。
6.根据权利要求1所述的功率器件覆铜陶瓷衬板结构,其特征是,两块所述覆铜陶瓷衬板(1)的尺寸相同,正面覆铜金属层(13)的图形不同或者相同。
7.一种根据权利要求1至6任一项所述的功率器件覆铜陶瓷衬板的封装方法,其特征是,包括:一次焊接和二次焊接两个步骤,其中,
所述一次焊接包括:将一次焊接焊片(2)、芯片(3)一次贴装在第一覆铜陶瓷衬板封装体(6)的正面,经过真空回流炉将芯片(3)和第一覆铜陶瓷衬板封装体(6)焊接在一起,形成第二覆铜陶瓷衬板封装体(7);
所述二次焊接包括:将二次焊接焊片(4)、第二覆铜陶瓷衬板封装体(7)依次贴装在一块铜基板(5)的表面,经过真空回流炉完成封装;
所述第二覆铜陶瓷衬板封装体(7)在二次焊接后的冷却过程中,由于覆铜陶瓷衬板(1)与铜基板(5)的热膨胀系统差异,在拉应力的作用下两个覆铜陶瓷衬板(1)沿邮票孔(12)方向断开,分裂成两个独立的覆铜陶瓷衬板(1),满足功率器件的电路设计要求。
8.根据权利要求7所述的功率器件覆铜陶瓷衬板的封装方法,其特征是,所述一次焊接焊片(2)的厚度为0.10mm~0.20mm,且所述依次焊接焊片的长、宽尺寸与芯片(3)的尺寸相同。
9.根据权利要求7所述的功率器件覆铜陶瓷衬板的封装方法,其特征是,所述二次焊接焊片(4)的厚度为0.15mm~0.30mm,长、宽尺寸与背面覆铜金属层(14)的尺寸相同。
10.根据权利要求7所述的功率器件覆铜陶瓷衬板的封装方法,其特征是,所述铜基板(5)的厚度为2.0mm~4.0mm,铜基板(5)呈内凹形状,长度方向的翘曲度为0.60~0.75mm。
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