[发明专利]一种微镜用扭梁及具有该扭梁的电磁式扫描微镜

权利要求书

1.一种电磁式扫描微镜，其特征在于：包括两个弯折梁、固定边框和微镜板，两个弯折梁厚度相同且与微镜板共轴线布置，两个弯折梁的一端分别连接微镜板，另一端分别连接固定边框，以将微镜板悬置在固定边框内侧，并且能够绕弯折梁的轴线进行偏转；各弯折梁两端的梁体为平直结构，中间的梁体多次弯折形成近回形结构，两端平直结构的梁体与中间近回形结构的梁体处于同一轴线上；近回形结构中与轴线平行的梁体有五段，其中内侧相邻两段梁体之间的间距比外侧梁体和内侧梁体之间的间距大。

2.根据权利要求1所述的电磁式扫描微镜，其特征在于：弯折梁与固定边框以及微镜板的厚度保持一致。

3.根据权利要求1或2所述的电磁式扫描微镜，其特征在于：所述微镜板的背面掏蚀有十字型凹槽。

4.根据权利要求3所述的电磁式扫描微镜，其特征在于：所述十字型凹槽位于微镜板背面的中部，为轴对称结构，在其两个相互垂直的方向上所掏蚀的长度不同，形成短向侧和长向侧。

5.根据权利要求4所述的电磁式扫描微镜，其特征在于：所述十字型凹槽的短向侧与弯折梁共轴线布置，且未贯穿微镜板，长向侧则贯穿微镜板。

6.根据权利要求1所述的电磁式扫描微镜，其特征在于：所述固定边框和微镜板均呈矩形，弯折梁与固定边框共轴线布置。

7.根据权利要求1所述的电磁式扫描微镜，其特征在于：所述固定边框、微镜板和弯折梁通过MEMS技术集成在硅基片上。