[发明专利]单晶制造装置和单晶的制造方法

权利要求书

1.一种单晶制造装置，是从晶种向上方生长单晶的单晶制造装置，其特征在于，具备：

隔热空间，其是与上述单晶制造装置之外的空间隔热的；

感应加热用线圈，其设置在上述隔热空间的外侧；

隔热板，其将上述隔热空间划分为包含用于培育上述单晶的晶体培育区域的第1空间和上述第1空间之上的第2空间，在上述晶体培育区域的上方具有孔；

加热体，其设置于上述第2空间，通过使用了上述感应加热用线圈的感应加热而发热，对上述隔热空间内进行加热；以及

支撑轴，其用于从下侧支撑上述晶种且使上述晶种能在上下方向移动。

2.根据权利要求1所述的单晶制造装置，其中，

在上述第1空间，以包围上述晶体培育区域的方式设置有隔热材料。

3.根据权利要求1或2所述的单晶制造装置，其中，

在上述第1空间，设置有通过使用了上述感应加热用线圈的感应加热而发热的第2加热体。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的单晶制造装置，其中，

上述隔热板的厚度具有用于使上述单晶的上表面的外周部的温度比其内侧的区域的温度高的分布。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的单晶制造装置，其中，

在上述隔热空间的上侧的、上述支撑轴的中心的正上方，设置有上述单晶的原料的供应口。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的单晶制造装置，其中，

具备环状的构件，上述环状的构件设置到上述隔热板的上述孔的内侧，能够以开口区域的形状来控制上述单晶的截面形状。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的单晶制造装置，其中，

具备用于将上述单晶的原料熔液滴下到上述单晶的上表面的漏斗。

8.一种单晶的制造方法，其特征在于，包含：

在由具有孔的隔热板划分为第1空间和上述第1空间之上的第2空间的隔热空间的、上述第1空间的上述孔的下方设置晶种的工序；

对设置于上述第2空间的加热体进行感应加热，通过从上述加热体发出的热使上述晶种的上表面熔融的工序；

经过上述第2空间和上述隔热板的上述孔，对熔融后的上述晶种的上表面供应单晶的原料熔液的工序；以及

一边继续供应上述原料熔液，一边使上述晶种向下方移动，从上述晶种向上方生长上述单晶的工序。

9.根据权利要求8所述的单晶的制造方法，其中，

在供应上述单晶的原料熔液的工序中，滴下通过以上述第2空间的热将原料棒的下端熔化而得到的上述原料熔液。

10.根据权利要求8所述的单晶的制造方法，其中，

在供应上述单晶的原料熔液的工序中，滴下通过以上述第2空间的热将中空原料棒的下端熔化，并且在上述中空原料棒的下端以上述第2空间的热将向上述中空原料棒的内部投下的粉末或者颗粒状的原料熔化而得到的上述原料熔液。

11.根据权利要求8所述的单晶的制造方法，其中，

在供应上述单晶的原料熔液的工序中，滴下通过以上述第2空间的热将投入到漏斗内的粉末或者颗粒状的原料熔化而得到的上述原料熔液。

12.根据权利要求10或11所述的单晶的制造方法，其中，

在供应上述单晶的原料熔液的工序中，使金属与氧气反应来形成上述粉末或者颗粒状的原料。