[发明专利]一种光敏型二硫化碳传感器的制备方法有效
申请号: | 202110858227.X | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN113637943B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 董孟孟;蔡庆锋;彭雪;吕燕飞;赵士超 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/18;C23C14/58;B82Y40/00;C23C8/62;C23C8/80;C23C18/42;G01N27/12 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光敏 二硫化碳 传感器 制备 方法 | ||
1.一种气敏型二硫化碳传感器的使用方法,其特征在于:所述传感器通过在氧化铝陶瓷基底上沉积生长金叉指电极,接着在金叉指电极表面涂覆硫化银纳米颗粒获得;
该传感器的使用方法为设置在有蓝光LED光源的容器内,当空气中含少量二硫化硫气体时,硫化银吸附该类气体,形成紧密吸附层,气体分子在硫化银表面是多分子层吸附模式,紧密层之外同样会吸附空气中的氧气,由于二硫化碳浓度低,紧密层之外的吸附氧气为主;吸附达到动态平衡时,硫化银晶粒间能级势垒降低到一恒定值,电阻也降低到一个恒定的数值;当光照射到硫化银表面,硫化银受到光激发,产生光生电子-空穴对,促进二硫化碳与氧气的化学反应,伴随紧密吸附层二硫化碳的减少,来自紧密层之外氧气的吸附,硫化银势垒升高,电阻急剧升高,实现对二硫化碳的探测。
2.根据权利要求1所述的一种气敏型二硫化碳传感器的使用方法,其特征在于:所述的硫化银纳米颗粒替换为纳米钯修饰硫化银。
3.根据权利要求1所述的一种气敏型二硫化碳传感器的使用方法,其特征在于:所述的硫化银纳米颗粒制备方法为:
步骤(1).将二氧化硅基底通过热蒸发法在其表面沉积100-500 nm厚度的银薄膜;
步骤(2).将硫粉末放入石英舟中,将表面镀有银的二氧化硅基底覆盖在石英舟表面,银面正对硫;然后将石英舟放入石英管中;
步骤(3).将步骤(2)的石英管两端密封,并抽真空;
步骤(4).将步骤(3)石英管放入管式电炉中,升温至200~300℃,升温速率为10~30℃/min;温度升至200~300℃后保温,保温时间为30~120 min;
步骤(5).管式电炉、石英管停止加热,开启管式电炉,将石英管室温环境下快速冷却到室温,然后取出基底,在基底上获得硫化银薄膜;
步骤(6).步骤(5)产物硫化银薄膜通过刮刀从生长基底上刮下来,获得硫化银纳米颗粒。
4.根据权利要求1所述的一种气敏型二硫化碳传感器的使用方法,其特征在于:制备硫化银探测器,具体包括以下步骤:
步骤(1).将溶液法或化学气相法制备硫化银纳米颗粒,颗粒直径10-100 nm;
步骤(2).将硫化银纳米颗粒,与水混合,形成糊状,通过旋涂法旋涂在叉指电极表面,叉指电极的基底为氧化铝陶瓷或表面生长有氧化层的硅基底;
步骤(3).将步骤(2)的产物,在空气中干燥去除水,得到硫化银探测器。
5.根据权利要求2所述的一种气敏型二硫化碳传感器的使用方法,其特征在于:所述的硫化银纳米颗粒的制备方法为:
步骤(1).将二氧化硅基底通过热蒸发法在其表面沉积100-500 nm厚度的银薄膜;
步骤(2).将硫粉末放入石英舟中,将表面镀有银的二氧化硅基底覆盖在石英舟表面,银面正对硫;然后将石英舟放入石英管中;
步骤(3).将步骤(2)的石英管两端密封,并抽真空;
步骤(4).将步骤(3)石英管放入管式电炉中,升温至200~300℃,升温速率为10~30℃/min;温度升至200~300℃后保温,保温时间为30~120 min;
步骤(5).管式电炉、石英管停止加热,开启管式电炉,将石英管室温环境下快速冷却到室温,然后取出基底,在基底上获得硫化银薄膜;
步骤(6).在步骤(5)产物硫化银薄膜表面通过喷雾法喷氯化钯的盐酸溶液,在硫化银表面形成氯化钯的液膜,所述的氯化钯的盐酸溶液为氯化钯饱和溶液和盐酸的混合溶液;
步骤(7).步骤(6)产物放入石英管中,通入氩气、氢气混合气体,其中氢气的体积含量为5%,然后放入管式电炉中,升温至500~800℃,升温速率为10~30℃/min;温度升至500~800℃后保温,保温时间为30~60 min;获得纳米钯修饰硫化银。
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