[发明专利]纳米立方银焊膏、互连结构及焊接方法有效
申请号: | 202110860085.0 | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN113579563B | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 周国云;邱娟;何为;王守绪;杨猛;张彬彬;吴琼;毕建民;谭建容 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | B23K35/30 | 分类号: | B23K35/30;B23K1/00;B23K3/06;B23K1/008;H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 敖欢 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 立方 银焊膏 互连 结构 焊接 方法 | ||
1.一种纳米立方银焊膏,其特征在于:其由尺寸均一的纳米立方银颗粒与有机溶剂混合而成,所述纳米立方银颗粒为立方体形状,其粒径为20nm~200nm;
在焊接过程中利用其自组装性能形成超晶格阵列结构,实现纳米立方银颗粒的紧密排列,降低焊接连接层的孔隙率;
粒径为20nm~200nm的纳米立方银颗粒由多元醇热还原法制备而成,具体步骤如下:
(1)将催化剂溶解于溶剂中,获得第一反应液;
(2)将配位体溶解于溶剂中,获得第二反应液;
(3)将保护剂溶解于溶剂中,获得第三反应液;
(4)将银源前驱体溶解于溶剂中,获得第四反应液;
(5)将乙二醇加热到155℃~165℃,保持1h~1.5h,再分别加入第一反应液、第二反应液、第三反应液和第四反应液,在155℃~165℃的温度下和磁力搅拌器搅拌下反应1h~2h,反应结束后获得高浓度的纳米立方银颗粒和乙二醇的悬浊液;
(6)将所述纳米立方银颗粒和乙二醇的悬浊液经固相分离获得固相产品;
(7)将所述固相产品依次洗涤干燥后获得所述纳米立方银颗粒;
其中,所述催化剂选自硫化钠、硫氢化钠中的任意一种;
所述配位体选自盐酸、氯化钠、氯化钾中的一种;
所述溶剂选自去离子水、乙醇、乙二醇中的任意一种;
所述银源前驱体选自硝酸银、醋酸银和碳酸银中的任意一种;
所述催化剂浓度为2 mmol/L~6 mmol/L;
所述配位体浓度为2 mmol/L~3 mmol/L;
所述保护剂浓度为20mg/mL~ 40mg/mL;
所述银源前驱体浓度为270 mmol/L~300 mmol/L。
2.根据权利要求1所述的纳米立方银焊膏,其特征在于:有机溶剂选自乙二醇、松油醇、α-萜品醇、β-萜品醇、γ-萜品醇、δ-萜品醇、丙三醇、甘油、二甘醇和三甘醇的任意一种或两种以上的混合物。
3.根据权利要求1所述的纳米立方银焊膏,其特征在于:纳米立方银颗粒和有机溶剂的质量之比为(5~12):1。
4.一种覆铜陶瓷基板和IGBT模块功率芯片的互连结构,其特征在于:其由权利要求1~3任一项所述纳米立方银焊膏连接制备而成。
5.根据权利要求4所述的覆铜陶瓷基板和IGBT模块功率芯片的互连结构,其特征在于:芯片互连结构从下至上包括覆铜陶瓷基板、化学镀银层、连接层、IGBT模块中的碳化硅功率芯片,连接层使用纳米立方银焊膏。
6.权利要求5所述的覆铜陶瓷基板和IGBT模块功率芯片的互连结构的焊接方法,其特征在于包括如下步骤:
(1)将纳米立方银焊膏通过丝网印刷的方式涂在镀银覆铜陶瓷基板上,得到印刷焊膏,纳米立方银颗粒在这一过程中通过自组装性能形成超晶格阵列结构;
(2)在其表面上放置IGBT功率芯片形成互连结构;
(3)将所述互连结构置于加热炉中进行焊接,加热温度为150℃~300℃,保温时间为20min~60min,施压压力为0Mpa,实现覆铜陶瓷基板和碳化硅功率芯片互连。
7.根据权利要求6所述的覆铜陶瓷基板和IGBT模块功率芯片的互连结构的焊接方法,其特征在于:步骤(1)中覆铜陶瓷基板的镀银方式选自化学镀银、电镀银中的一种。
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