[发明专利]一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法

权利要求书

1.一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：包括以下重量份数配比的原料：工业级过氧化氢100-120份，过氧化氢溶液稳定剂1-5份，纯水50-70份、氢氧化钠溶液、盐酸溶液，依次包括以下步骤：

(1)对工业级过氧化氢溶液进行反渗透处理：将工业级过氧化氢溶液与纯水通过增压泵到达机械过滤器，使工业级过氧化氢溶液通过机械过滤器除去溶液内部的絮凝体等悬浮杂质，当工业级过氧化氢溶液通过机械过滤器时，进入到活性炭过滤器，使其除去水中部分有机物。

(2)使步骤(1)获得的水溶液通过阳离子交换树脂、螯合树脂和阴离子交换树脂组成的提纯系统。

(3)使步骤(2)得到的水溶液进行精细过滤，从而得到半导体级过氧化氢溶液。

2.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中增压泵前的压力不能小于0.5kg/cm2。

3.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)水溶液通过树脂的流速为90-120ml/min。

4.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的树脂需要进行预处理，并且预处理的选择为阴离子树脂先后用浓度为4％的氢氧化钠溶液进行处理，并且阳离子树脂先后用浓度为3.5％的盐酸溶液进行处理。

5.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述阴离子交换树脂选用氟型阴离子交换树脂，使其除去二氧化硅，使过氧化氢水溶液氧化硅杂质下降。

6.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述过氧化氢溶液稳定剂为苯甲酸溶液。

7.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中树脂的再生剂为5％的氯化钠溶液与0.2％氢氧化钠溶液混合物。

8.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中在进行精细过滤前需要加入絮凝剂与过氧化氢溶液稳定剂。

9.根据权利要求1所述的一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法，其特征在于：所述工业级过氧化氢溶液为由蒽醌法生产的未经除杂的过氧化氢水溶液。